EQ-TM106 필름 두께 측정기

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개요

EQ-TM106 필름 두께 측정기는 쿼츠 결정 진동 원리를 사용하여 *의 주파수 측정 기술과 결합하여 필름 두께의 온라인 모니터링을 진행한다.주로 MBE, OLED 열증발, 자기제어 사출 등 설비의 박막 제조 과정에 응용되며, 막층 두께 및 도금 속도를 실시간으로 모니터링하는 데 사용된다.

제품 정보

EQ-TM106 필름 두께 측정기석영 결정의 진동 원리로, 결합*의 주파수 측정 기술，필름 두께의 온라인 모니터링을 진행하다.주요응사용MBE는、OLED는열 증발, 자기 제어 사출 등의 설비의박막 제조 과정 중，사용대막층 두께 및 도금 속도실시간 진행모니터링。EQ-TM106 필름 두께 측정기에 따르면박막의실시간 속도 출력 가능PWM(펄스 폭 변조)아날로그량,로서필름 두께 센서 사용, 조절기 및 증발 전원과 함께 증발원의 폐쇄 루프 속도 제어를 사용하여 제조된 필름의 두께를 측정합니다.。EQ-TM106 필름 두께 측정기크기가 작으면 실험실 공간을 절약할 수 있고, 원리가 간단하며, 조작이 편리하며, 특히 실험실에서 박막 제조 과정의 사용에 적합하다.

제품이름	EQ-TM106 필름 두께 측정기
제품 모델	EQ-TM106는
주요 특징	1、본기계컴퓨터에 연결 가능。 2、표시기보유인터페이스간결, 직관적이고 합리적이며 조작이 편리하고 빠르다는 등 장점은 측정된 막의 두께, 속도, 주파수,PWM출력의 백분율과 같은 작업 상태를 조정합니다.。 3、소프트웨어 또는 모니터를 통해 게이트 제어 시간, 출력 방식, 속도 알고리즘, 재료 파라미터, 출력 범위 및 통신 파라미터 등을 설정하고 측정된 관련 데이터를 쓸 수 있다Excel은파일。 4、부피가 매우 작고 측정 정밀도가 높으며 조작이 간단하고 사용이 편리하다는 장점이 있다.
기술 매개변수	EQ-TM106-1 모니터링 구성 요소 1. 전원: DC 5V（±10%），대전류 400mA 2. 주파수 해상도:±0.03Hz 3. 필름 두께 해상도:0.0136（알루미늄） 4, 필름 두께 정확도:±0.5%프로세스 조건, 특히 센서의 위치, 재료 응력, 온도 및 밀도에 따라 다름 5. 측정속도: 100ms-1s/차，설정 가능 6. 측정 범위: 500000Å(알루미늄） 7. 표준 센서 결정체: 6MHz 8. 컴퓨터 인터페이스: RS-232/485직렬 인터페이스（전송률 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 설정 가능，데이터 비트：8，정지 비트：1，검증：없음） 9. 아날로그 출력: 8비트 해상도，PWM 펄스폭 변조 출력（집전극 회로 또는 내부 5V 출력） 10, 작업 환경: 온도 0-50 ℃, 습도 5~85% RH, 응축 물방울이 있어서는 안 된다 11. 외형 크기: 90mm×50mm×18mm
	EQ-TM106-2 모니터 1. 입력 전원: AC 220V±10% 2. 출력: DC 5V 3A 3. 모니터: 12×2 디지털 튜브와LED는 4. 통신 포트: RS-485(전송 속도 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 가능설치,데이터 비트：8비트，정지 비트：1위，패리티：없음） 5. 외형 크기: 182mm×65mm×160mm
	EQ-TM106-3 프로브 1. 적용 가능한 웨이퍼 주파수: 6MHz 2. 적용 가능한 웨이퍼 크기:Ø14mm 3. 설치 플랜지: CF35 4, 냉각 수도관:Ø3mm, 길이 300mm500mm, 1000mm 5、냉각수압:<0.3MPa 6, 공기압 베젤 노관:Ø3mm 7, 압축 공기 압력: <0.8MPa,> 0.5MPa 8, 구이 온도:통수 상태<200 ℃, 불통수 상태 플랜지 <100 ℃ 9. 전기 커넥터: BCN콘센트
표준 액세서리	1	EQ-TM106-1 모니터링 구성 요소	1개
	2	EQ-TM106-2 모니터	1대
	3	EQ-TM106-3 프로브	1개

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