초고진공 다강실 물리 기상 퇴적 시스템

초과고진공 다강실 물리적 기상 퇴적 시스템(PVD)

이 시스템은 전문적인 퇴적 설비 업체가 제조하고 다양한 퇴적 방식 (각종 기능 인터페이스 예약) 을 배치하여 고도로 유연하며 다양한 퇴적 모델의 과학 연구에 매우 적합하다.

현재 이 시스템의 초고진공 조건 퇴적 모드 (기계 펌프 + 분자 펌프만 사용하며 극한 진공은 5X10E-10Torr에 달한다).여러 가지 조합 퇴적 모드, 같은 강체는 여러 가지 기능 퇴적 방식을 실현합니다. 퇴적 소스 모드는 다음과 같습니다.
자기 제어 사출 소스
전자빔 증발원
열증발원
이 시스템은 고도로 유연하고 소프트웨어 조작이 편리하며 전문적으로 연구기관을 위해 초순도 박막을 퇴적하는 진정한 초고진공 퇴적 시스템이다.
기술 매개 변수:
극한 진공: <5x 10E-10 torr(24시간 구워 냉각한 후);
도금 균일도: <3%
샘플 전송: 라이닝 덮개를 간편하게 장착
캐비닛: 설치 공간이 작은 패브릭
샘플대 작업: 회전, 가열, 적재 편압;
샘플 조작: 예비 흡입 진공실;
샘플 크기: 1", 2", 3", 4", 8", 12"등;
필름 두께 모니터링: 석영 결정 마이크로 천평, 타원형 기기;
구이: 내부 가열 또는 외부 보온 가열;
간단하고 편리한 전자동 소프트웨어 조작: 전자동 진공 추출 및 프로그램 자동 실행.