펄스 레이저 퇴적 시스템

제품 설명: 펄스 레이저 퇴적 시스템 온라인 주문

펄스 레이저 퇴적 시스템
(Pulse Laser Deposition System)
원산국: 미국
PLD 펄스 레이저 퇴적 시스템 소개:
PLD는 펄스 레이저를 합성 석영창을 통해 진공 챔버 안으로 가져와 성막 표적에 비추고, 표적이 비추면 고밀도 에너지를 흡수해 형성되는 플럼 모양의 플라즈마 상태를 만든 뒤 맞은편에 설치된 기판에 쌓여 성막이 된다.PLD 방법은 열역학 이론상 준안정 상태의 구성과 구조를 가진 인공합성 신소재를 얻을 수 있다.


당사 PLD 시스템은 다음과 같은 기술적 매개 변수 구성에 따른 성능 비율을 보유하고 있습니다.
1.표적: 수량 6개, 크기 1-2인치, 레이저에 노출될 때 자동으로 회전할 수 있으며, 표적의 선택은 스텝 모터를 통해 제어할 수 있다;
2.기판: 산소환경에 적합한 백금가열편을 채용하여 크기가 2인치이고 가열온도가 1200도에 달하며 온도차가 <3%, 가열할 때 기판이 회전할수 있으며 작업환경압력은 300mtorr이다.
3.기판 가열 전원, 1200도까지;
4.초고진공성막실강체: 스테인리스강 sus304 재질, 내표면 전해포광, 본바닥 진공도 <5e-8pa;
5. 샘플 운반실: 스테인리스 스틸 sus304 재질, 내부 표면 전해 광택, 본 바닥 진공도 <5e-5 pa;
6. 배기 시스템: 분자 펌프와 건식 기계 펌프;
7.밸브: 초고진공 베젤 밸브를 사용합니다.
8.진공 검사:진공계;
9.가스 회로 두 세트: 가스 유량계로 제어한다;
10.박막 성장 모니터링 시스템: 스캔형 차분 RHEED를 사용합니다.
11.모니터링 소프트웨어 시스템: 기판 온도의 모니터링 및 설정, 기판과 표적의 회전, 표적의 교체 등;
12. 각종 전류 도입 및 온도 측정 단자;
13.기타 각종 구조: 각종 초고진공위 이동대, 자력 전송봉, 초고진공 프랑스, 초고진공 밀봉 개스킷, 초고진공용 파문관 등;

사용자는 가장 적은 돈으로 연구급 고성능의 순수입 PLD 시스템을 구입한다.