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석영 결정 측정기

협상 가능업데이트04/29
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개요

쿼츠 모니터는 더 작은 크기, 더 낮은 비용으로 기존 QCM의 *와 같은 성능을 제공합니다.$r$n 새로운 INFICON Q-podTM 센서는 박막 퇴적 속도와 박막 두께를 측정하는 데 작고 비용이 저렴하며 정확한 측정을 제공하는 솔루션입니다.

제품 정보

석영 결정 측정기

박막 퇴적 속도와 막층 두께를 측정하는 동안 INFICON의 새로운 Q-podTM센서는 크기가 작고 비용이 저렴하며 측정이 정확한 솔루션입니다.그것의 설치와 조작은 매우 간편하다. Q-pod 측정기의 한쪽 끝을 BNC 케이블을 통해 QCM 센서 프로브에 연결하고, 다른 한쪽 끝은 표준 USB 인터페이스로 개인용 컴퓨터에 연결하면 된다. 발진기나 전원을 따로 연결할 필요가 없다.그리고 우리가 무료로 제공하는 Q-pod 소프트웨어를 설치하면 작업이 시작됩니다.Q-pod 소프트웨어는 퇴적 속도, 필름 두께, 주파수, 웨이퍼의 사용 수명 및 퇴적 속도와 도금 시간의 상대 곡선도를 표시할 수 있으며 8방향 Q-pod 신호를 동시에 모니터링할 수 있다.Q-pod의 판독은 컴퓨터 하드디스크의 데이터 테이블에 기록될 수 있으며, 판독은 쉼표로 구분되어 있어 언제든지 조회할 수 있다.

표준 Q-pod 시스템 구성: -pod 모니터링 박스 \ \ \센서 프로브 \ \ \1 인치 볼트 플랜지 \ \ \웨이퍼 10장

석영 결정 측정기

제품 특징:

◆ 더 작은 크기, 더 낮은 비용, 기존 QCM과 같은 성능

◆ USB 인터페이스를 통해 컴퓨터에 직접 연결할 수 있는 Q-pod 모니터 8개 동시 연결 지원

◆ Windows 기반작업 및 데이터 로깅을 포함한 창 소프트웨어

◆ 무게는 2온스(1온스=28.35g) 미만,상의 주머니에 쉽게 넣을 수 있음

Q-POD - 소프트웨어:

오른쪽 대화 상자에는 Q-pod 연결을 포함하는 소프트웨어의 기본 설정 및 운영 인터페이스가 표시됩니다.이 소프트웨어는 동시에 8개의 Q-pod를 개인용 컴퓨터에 연결할 수 있으며 각 Q-pod에는 USB 인터페이스가 필요합니다.

Q-POD - 간단한 QCM 시스템:

오른쪽 시스템 구조도는 전형적인 박막 퇴적 시스템을 보여준다.

완전한 Q-pod 시스템은 Q-pod 모니터링 박스, 센서 프로브, 연결 플랜지 및 컴퓨터를 포함합니다.

성능 매개 변수

프로브

모든 유형의 QCM 프로브와 호환 가능

주파수 범위

1 ~ 10 MHz

해상도

6 MHz에서 0.05 Hz

주파수 정밀도

0.002 %

주파수 안정성

± 2 ppm 총, 0 이상?50?C

입력

BNC는

인터페이스 및 전원 공급 장치

USB, v2.0 이상

치수

1' x 2' x 2.5' (25 x 50 x 64 mm)

무게

2 oz (32 그램)

소프트웨어

모든 작업 매개변수의 디스플레이 및 설정 제공

컴퓨터 요구 사항

실행 가능윈도우?XP2000,USB 핑계가 적어도 하나 있는 개인용 컴퓨터

주문 정보

Q-Pod

QCM 센서 프로브:

- Windows 기반 설정 운영 소프트웨어

- QCM 프로브 시뮬레이터

- 6'(150mm) BNC 케이블(Q-pod 및 프로브 플랜지 연결)

- 10'(3m) USB 케이블(Q-pod 및 PC 연결)

전체 패키지에는 QCM 웨이퍼, 프로브, 플랜지, Q-pod와 함께 사용되는 기타 액세서리가 포함됩니다.