필름 두께 제어기

제품 설명:

필름 두께 제어기의 작업 원리는 필름 두께 측정기와 달리 자신의 폐쇄 회로를 이용하여 도금 과정에서 필름 재료의 퇴적 속도, 필름 두께를 실시간으로 모니터링하고 제어하여 도금 효과가 좋은 상태에 이르도록 할 수 있다.MDC-360은 기본형으로 설치/디버깅이 편리하고 조작이 간단하며 정면입력, 기능이 구전한 등 특징이 있으며 고객에게 편리한 설계성과를 제공하는데 여러가지 집중되여있다. 제품군가운데서 MDC-360C가 대표적이다. MDC-360과 MDC-370 두 기종의 장점을 융합시켰으며 현재도 평판이 좋고 시장보유량이 비교적 높은 기종이다.

주요 특징:

1) 직관적인 정보 - 4색 LCD 대형 평면 패널 모니터로 차트와 각종 중요한 정보를 실시간으로 표시할 수 있으며 버튼으로 차트 인터페이스와 상태 인터페이스 사이를 언제든지 전환할 수 있습니다.

2) 조작이 간편하다-직관적인 메뉴 모드, 32가지 미리 설정된 재료 데이터베이스 및 알파 디지털 키 영역은 사용자의 조작과 사용을 크게 편리하게 한다.

3) 강력한 기능 - MAX는 4소켓 프로브 입력으로 확장할 수 있으며, 최대 99가지 공정 과정, 999가지 정의 필름 레이어 및 32가지 사전 설정 재료 데이터베이스를 저장할 수 있다.

4) 자동 제어 - 웨이퍼를 자동으로 전환하여 웨이퍼가 작동하지 않을 때 자동으로 전원을 일시 중지하거나 중단합니다.정상적으로 복원되면 처음부터 시작할 필요 없이 계속 실행할 수 있습니다.

5) 개성 설정 - 순수하게 숫자와 인코딩으로 명명된 입력/출력 정보, 컨트롤러 및 재료 이름을 수정하여 쉽게 식별하고 혼동을 방지할 수 있습니다.

6) 안정적이고 신뢰할 수 있다-인간적인 음성 힌트와 경보 시스템, 음량 크기 조절 가능.

주요 기술 매개 변수:

주파수 해상도 0.03Hz(6.0MHz 기준 주파수)

품질 해상도 0.375 ng/cm²

지원 웨이퍼 주파수 2.5, 3, 5, 6, 9.5, 10 MHz

막 두께는 0.000~999.9 K에이를 나타낸다

성막속도 00.0~999 Ang/sec(0~9.99 μm/min)

막층 수량 001~999

그래픽 표시 240 × 64 LCD, CCFL 배경 소스

필름 두께 제어기