필름 두께 제어기

다용도 IC/5필름 두께 제어기다원, 다도가니, 다재료 또는 다과정 시스템의 막층 퇴적 속도와 막 두께를 제어하는 데 이상적으로 적합하다.IC/5는 복잡성, 요구 사항 및 특수 어플리케이션의 요구 사항에도 적합합니다.프로세스 제어, 논리적 기능, 프로그램 및 필름 계층 저장 용량, 프로세스 데이터 관리, 특히 퇴적 속도 및 필름 두께 제어에 능숙합니다.

주요 성능 매개 변수

◆ 주파수 해상도: 6.0MHz에서 0.03Hz

◆ 품질 해상도: 0.375ng/cm²

◆ 감지 웨이퍼 주파수: 2.5, 3, 5, 6, 9.5, 10MHz

◆ 필름 두께 표시: 0.000~9999.9K & Aring;

◆ 성막속도: 00.0~999Ang/sec(0~9.99μm/min)

◆ 막층 수량: 1~999

◆ 그래픽 디스플레이: 256 × 64 LCD, CCFL 배경 조명

◆ 전체 구성

◆ MDC360C 본체 1대, 발진기 및 케이블 세트, 프로브 1개, 웨이퍼 5개

◆ 호스트 크기: 16.98×3.47×9.355(단위: 인치)

전면 패널 폭 18.98인치

포괄적인 프로세스 제어

IC/5는 여유 프로세스, 밸브 제어, 기판 히터 활성화 등의 광범위한 기능을 제공합니다.이러한 향상된 기능을 통해 시스템의 복잡성과 비용을 줄일 수 있는 보조 기기가 필요하지 않습니다.IC/5의 논리 및 제어 기능에는 프로그래밍 가능한 100개의 논리 상태가 포함됩니다.I/O 및 TTL 릴레이 회로 기판은 최대 24개의 릴레이 출력, 28개의 TTL 입력, 14개의 TTL 출력, 20개의 카운트 및 20개의 타이밍을 제공합니다.논리적 상태는 외부 입력 또는 출력과 연결할 수 있습니다.각 상태는 최대 5개의 기능을 포함하고 부울 논리로 링크될 수 있습니다.IC/5는 소스 제어 또는 그래픽 레코더 출력에 대해 6개의 값을 부여할 수 있는 아날로그 출력, 퇴적 속도, 필름 두께 또는 퇴적 속도의 편차를 제공합니다.

강력한 프로세스 처방 및 데이터 관리

IC/5 멤브레인 컨트롤러는 프로시저 처방 및 데이터를 효율적으로 관리할 수 있는 몇 가지 기능과 옵션을 제공합니다.

풍부한 온보드 스토리지 – 최대 50개의 프로세스와 250개의 필름 레이어사용 중인 프로세스 데이터와 처방전 파일에 즉시 액세스할 수 있습니다.이 진입성은 많은 막층을 포함하는 복잡한 과정, 다양한 공정 과정에 운행하는 도금 시스템 및 연구 제작 또는 공정 발전 등 응용에 특히 가치가 있다.

디스크 드라이브 옵션 - 프로세스 데이터와 처방전을 무제한으로 저장할 수 있습니다.오프라인 편집 소프트웨어 옵션 - 컴퓨터(IC/5 패널 아님)에서 데이터를 입력하거나 입력할 수 있습니다.이 소프트웨어로 프로그래밍하는 것은 더욱 편리하고 효과적이며, 특히 다층막과 다재료 과정에 더욱 편리하다.데이터 로깅 – 프로세스 정보 (종종 필름 두께, 평균 퇴적 속도, 작동 횟수, 필름 계층 등) 는 ASCII 형식으로 원격 제어 통신 포트, 프린터 포트 또는 디스크에 자동으로 기록됩니다.IC/5는 디스크 제어 옵션을 사용하여 확장된 형식에 데이터를 저장하여 프로세스의 데이터 저장 및 처리를 단순화합니다.데이터 로깅을 통해 사후 분석 및 신속한 보정 작업을 간편하게 수행할 수 있습니다.ISO9000 또는 QA 인증을 준수하는 프로덕션의 경우 프로세스 추적은 *입니다.

자동차 Z -다층 재료에 사용되는 정교한 도금

IC/5 자동으로 Z 비율을 결정하는 Auto Z 기술은 도금막 두께와 퇴적 속도의 제어 정밀도를 높여 사용자가 더 이상 음향 저항 (Z) 비율을 계산할 필요가 없다³. 결정체에 여러 재료가 쌓이면 비례값 Z는 결정체에 있는 재료의 비례에 따라 달라지므로 Z값의 변화는 동적이다.Auto Z 연속으로 진행 중인 Z 비율을 수정합니다.이 기능은 단일 결정체에 층이나 합금 재료를 침적하는 과정에서 정확한 막층 두께와 침적 속도를 유지하기 위해 특히 중요하다.

³Auto Z – 미국번호 5112642

AUTO TUNE -빠른 설정

IC/5의 Auto Tune 기능은 반복적인 탐색 단계를 없애고 설정 시간을 절약하여 소스의 피드백 제어 폐쇄 루프 상수를 신속하게 자동으로 결정합니다.Auto Tune은 3개의 매개변수 PID(정비, 적분, 미분) 알고리즘을 포함하는 몇 가지 제어 알고리즘 중 가장 좋은 알고리즘을 선택합니다. 다양한 소스를 안정적으로 제어할 수 있습니다.

다중 센서 측정–높은 반복성

일부 광학 도금과 기타 응용에는 중복성과 균일도가 특히 중요하다.IC/5 컨트롤러는 여러 개의 감지 부품의 측정을 통합하여 소스의 고르지 않은 분포 효과를 최소화하고 이전과 다음 도금 운행 사이의 막층 퇴적 속도와 종막 두께의 양호한 *성을 확보한다.기판이 행성기편틀에서 회전할 때 IC/5는 각 감지부품의 위치에서 동시에 데터를 수집하여 얻은 정보가 현재 원본의 분포를 대표하도록 확보한다.단일 감지 부품의 제어기와 비교했을 때, 다중 감지 부품 측정은 제어 막층의 고정 총합 퇴적 속도, 소스 분포 중의 파동과 무관하기 때문에 막의 두께의 중복성을 크게 개선했다.소스의 분포 패턴이 변경되면 IC/5는 적절하게 전력을 조정합니다.비록 어떤 감지 부품의 퇴적 속도는 상당히 큰 변화가 있을 수 있지만 전체 퇴적 속도는 변하지 않는다.각 기판에 퇴적된 재료의 총량은 정확하게 통제된다.전체 필름 두께 정밀도는 단일 센서의 컨트롤러에 비해 2~3배 향상됩니다.다중 센서 측정은 소스의 손실로 인한 특성 변화를 정확하게 감지하므로 다음을 수행할 수 있습니다.

소스 추가 예상 시기

전자총의 스캔, 사정거리 및 고주파 진동 등의 매개변수에 대한 최상의 설정값을 결정합니다.

더 나은 과정 처방을 조제하다.

모든 센서는 IC/5 컨트롤러에 연결되어 있기 때문에 캐비닛의 공간을 적게 요구하며 구형 다중 컨트롤러/컴퓨터 조합 구조보다 3~5배 빠르게 보정됩니다.

정확한 공중침적

IC/5는 두 재료를 동시에 도금하는 것을 제어합니다.이것은 프로그래밍된 비율 매개변수를 포함하며, 변화하는 퇴적 속도에서 합금의 비율을 제어하고, 또 하나의 교차 감도 (또는 직렬) 매개변수를 포함하며, 자동으로 한 소스에서 온 재료를 다른 소스를 제어하는 감지 부품으로 도금한다.Auto Z 기능은 IC/5의 공동 퇴적에도 기여하며, 서로 다른 재료가 하나의 결정체에 혼합될 때 필름 두께의 정밀도를 유지한다.

기존 기기에 쉽게 설치

IC/5는필름 두께 제어기 적합한 케이블을 갖추고 있어 기존 장치에 쉽게 설치할 수 있으며 오래된 INFICON 또는 기타 제조 공장의 필름 컨트롤러를 교체할 수 있습니다.자세한 내용은 우리 부서에 문의하십시오.