NanoFocus 3D 프로파일러

NanoFocus μsurf 시리즈3차원 형상 윤곽계다공공초점기술을 채용하여 CCD의 영상섭취와 결부하여 탐지기의 구멍을 많은 구멍이 있는 회전판으로 대체한후 다시 물경을 수직으로 이동하여 단층촬영방식과 류사한 단층촬영방식으로 짧은 시간 (약 몇초) 내에 물체의 3차원수치를 정확하게 측정할수 있다.그 측정방식은 비접촉식으로서 견본의 표면을 파괴하지 않고 진공환경에서 측정할 필요가 없으며 현미경측정의 기능으로 견본을 관측할수 있으며 가혹한 작업환경에서도 정상적으로 사용할수 있다.공초점 방법을 사용했기 때문에 그래디언트가 큰 높이를 측정할 때 다른 방법에 비해 물체의 높이를 더 정확하게 측정하고 3D 입체 영상을 구축할 수 있어 장점이 상당히 뚜렷하다.

μsurf 시리즈3차원 형상 윤곽계적용
μsurf 시리즈는 표면의 물리적 형태를 측정하고 3D 표면 형태, 2D의 종심 형태, 윤곽(세로, 너비, 곡률, 각도), 표면 거친도 등 마이크로나노미터 척도의 3차원 형태 분석을 하는 데 사용된다.
정밀 부품: 표면 마모, 표면 거친도, 표면 미세 구조에 요구되는 부품, 예를 들면 엔진 실린더, 커터 등;
생명 과학: stents 스탠드의 도금 두께 등 측정
마이크로 전자 기계 시스템: 마이크로 부품의 검사, 의약 공학에서 조직 구조의 검사, 예를 들어 유전자 칩 등
반도체: 검측 마이크로 전자 시스템, 패키지 및 보조 제품 구조 설계
태양에너지: 태양전지 조각 울타리선의 3D 형상 표징, 고폭비 측정, 융단 제조 후 3D 형상 표징 (단결정 피라미드 크기, 수량, 각도, 다결정 부식 구덩이 형상, 밀도), 조잡도 분석 등
종이: 종이, 화폐 표면 3차원 형태 측정
LED: 사파이어 라이닝 측정, PSS ICP 후 WAFER의 3D 형태 추출

μsurf 시리즈기술 매개변수
LED 광원: 람다 = 505nm, MTBF: 50000h
측정 시간: 2~10초
측정 원리: 비접촉, 공초점
X/Y 방향: 플랫폼 이동 범위: 100mmX100mm/200mmX200mm/300mmX300mm(크기 옵션), 모터 구동, X/Y 방향 해상도: 0.3μm
Z방향 측정 범위: 350 μm, Z방향 해상도: < 1nm
대물렌즈: 10X, 20X, 50X, 100X(옵션)
오프축 카메라(10X), zui 대화면 8 x 6mm2(옵션)
컴퓨터: 고성능 컴퓨터 제어 시스템, 강력하고 포괄적인 소프트웨어, 결합 기능
전문 워크벤치: 크기 1550x800x750mm(LxH)
작동 전원: 100-240V, 50-60Hz, input: 550VA
재료: 강철, 고무, 대리석
무게: 약 150KG+80KG
클린룸 등급: Capability class 6(according to DIN EN ISO 14644)