레이저 공초점 현미경

μsurf explorer 정밀 측정, 표면 분석 시스템
μsurf 시리즈 제품은 다공성 공초점 기술을 사용하여 CCD의 영상 섭취와 결합하여 탐지기의 구멍을 많은 구멍이 있는 회전판으로 대체한 후 다시 물경을 수직으로 이동하여 단층촬영과 유사한 방식으로 짧은 시간 (약 몇 초) 내에 물체의 3차원 데이터를 정확하게 측정할 수 있다.그 측정방식은 비접촉식으로서 견본의 표면을 파괴하지 않고 진공환경에서 측정할 필요가 없으며 현미경측정의 기능으로 견본을 관측할수 있으며 가혹한 작업환경에서도 정상적으로 사용할수 있다.공초점 방법을 사용했기 때문에 그래디언트가 큰 높이를 측정할 때 다른 방법에 비해 물체의 높이를 더 정확하게 측정하고 3D 입체 영상을 구축할 수 있어 장점이 상당히 뚜렷하다.

NanoFocus μ surf explorer 정밀 측정, 표면 분석 시스템 기계는 기능이 완비되어 있고, 구조가 치밀하며, 성비가 높으며, 초고광학 해상도와 zui의 전면적이고 광범위한 3차원 표면 형상 분석 능력을 가지고 있다.

레이저 공초점 현미경적용
μsurf 시리즈는 표면의 물리적 형태를 측정하고 3D 표면 형태, 2D의 종심 형태, 윤곽(세로, 너비, 곡률, 각도), 표면 거친도 등 마이크로나노미터 척도의 3차원 형태 분석을 하는 데 사용된다.
정밀 부품: 표면 마모, 표면 거친도, 표면 미세 구조에 요구되는 부품, 예를 들면 엔진 실린더, 커터 등;
생명 과학: stents 스탠드의 도금 두께 등 측정
마이크로 전자 기계 시스템: 마이크로 부품의 검사, 의약 공학에서 조직 구조의 검사, 예를 들어 유전자 칩 등
반도체: 검측 마이크로 전자 시스템, 패키지 및 보조 제품 구조 설계
태양열: 배터리 조각 울타리선의 3D 형상 표징, 고폭비 측정, 융단 제조 후 3D 형상 표징 (단결정 피라미드 크기, 수량, 각도, 다결정 부식 구덩이 형상, 밀도), 조잡도 분석 등
종이: 종이, 화폐 표면 3차원 형태 측정

레이저 공초점 현미경기술 매개변수
LED 광원: 람다 = 505nm, MTBF: 50000h
측정 시간: 5~10초
측정 원리: 비접촉, 공초점
X/Y 방향, 플랫폼 이동 범위: 50mmX50mm, 모터 구동, 해상도: 0.3μm
Z방향 측정 범위: 250μm, 해상도: 2nm
대물렌즈: 10X, 20X, 50X, 100X(옵션)
컴퓨터: 고성능 컴퓨터 제어 시스템, 포괄적 인 소프트웨어, 접합 기능,
작동 전원: 100-240V, 50-60Hz, input<45W
재료: 강철, 고무, 대리석
폼 팩터: 710x270x330mm(HxD)
무게: 28kg
클린룸 등급: Capability class 6(according to DIN EN ISO 14644)

회사의 주요 경영:, 전자동 영상기