CNC 니콘 현미경 1pm 고해상도 광간섭

니콘 계열의 NIKON INSTECH사 (본사: 도쿄) 는 고도 해상도가 1pm에 달하는 광간섭 현미경 시스템'BW-M7000'(그림 1)을 출시한다.이 시스템은 고도의 범위를 나노미터급에서 밀리미터급까지의 표면 성상(재료 표면 패턴 및 거칠음, 표면상의 미세한 낙차 등)을 고속으로 고정밀도로 측정할 수 있다.

표면성상 측정은 니콘이 자체 개발한 방식인'FVWLI(Focus Variation with White Light Interferometry)법'을 사용한다.이 방법을 사용하면 객체 재료의 표면에 간섭 무늬가 생성되고 고정밀도가 각 픽셀의 초점 위치를 결정합니다.이를 통해 2.5배(시야 4.4×4.4mm)∼100배(시야 111.0×110.0μm)의 모든 배율에서 3차원 산수 평균 높이(Sa)가 0.1nm 수준인 표면 성상 평가를 할 수 있다.광학 필터와 같은 부품을 교체하지 않고도 초매끄러운 표면에서 거친 표면까지 단일 모드로 측정할 수 있습니다.또 막의 두께를 측정할 때는 스펙트럼 간섭법을 사용한다.0.1초 미만으로 두께가 1nm~40μm인 투명박막의 두께를 측정할 수 있다.

프로그램 제어 수단을 통해 전자동 측정을 실현할 수 있으며, 자동으로 초점 맞추기, 샘플의 기울기 조정, 합격 여부 판단 등 조작을 실시할 수 있다.여러 시야를 자동으로 측정할 수 있어 재료 개발 일선 외에 품질 관리 및 현장에도 쉽게 사용할 수 있다.

CNC 니콘 현미경 BW-M7000 현미경은 300 × 300mm의 전기 XY 축 탑재대와 200mm의 전기 Z축 줌 탑재대를 갖추고 있다.측정 가능한 반도체,LED、박막재료, 고분자재료, 정밀기계가공부품 등 다양한 시료(그림2, 그림3).드릴*의 표면 형태를 측정할 때 고정장치를 사용하여 직립 고정 상태를 유지할 수 있습니다.