필름 두께 제어기

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개요

필름 두께 제어기 INFICON, 필름 도금 제어 기술의 *자는 이제 높은 생산 가치와 낮은 소유 비용의 * 기기를 제공합니다.$r$n 제품의 적합성을 제어하거나 연구 프로젝트에 사용하려는 경우와 상관 없습니다.INFICON XTC/3는 * 요구 사항에 적합합니다.$r$n*，실용적인 단층 및 다층 도금 속도 제어

제품 정보

필름 두께 제어기

단층 및 다층 도금 공정에 사용되는 박막 도금 컨트롤러 XTC/3는 ModelLock1 기술을 장착하여 일관된 도금 품질을 달성할 수 있는 신뢰할 수 있는 모드 점프 방지 기능을 제공합니다.XTC/3 필름 도금 컨트롤러를 사용하면 도금 속도와 필름 두께를 고도로 정확하게 제어할 수 있으며 거의 모든 필름 수량을 제어할 수 있는 능력을 갖추고 있다.간편한 설치와 안정성으로 높은 생산성을 보장합니다.

특이점

■ 단막층과 다막층 모델이 있다

■ 모델락 기술로 모드 점프로 인한 필름 두께 오차 방지

■ INFICON Crystal 12 지원TM,CrystalSix?높은 생산성을 위한 듀얼 프로브 자동 트랜지스터 전환

■ XTC/3M 다막층 모델은 다∼99개 공정 프로세스, 999개 막층, 32개 도금층, 2개 지원

센서 및 두 소스

■ XTC/3S 단막층 모델은 최대 9개의 도금, 2개의 센서 및 2개의 소스 지원

■ 읽기 쉬운 TFT LCD 그래픽 모니터

■ 쉽게 검색할 수 있도록 * 및 설명 가능한 필름 및 프로세스 이름

■ 이더넷 연결 소프트웨어 포함

■ 별도 실행(컴퓨터 불필요) 또는 PC로 실행되는 Windows?소프트웨어 옵션

■ INFICON XTC/2 컨트롤러의 플러그 앤 플레이 교체(XTC/2 기능 및 명령 그룹에만 해당)

필름 두께 제어기

기술 사양

기능, 매개변수 또는 기술 사양	XTC/3S 단층 필름	XTC/3M 다층막
분별의 주파수 변화를 측정하다	+0.05Hz	+0.05Hz
측정 구간	0.25초	0.25초
두께 및 속도 구분 / 측정	0.06A,도구 / 밀도 = 100	0.06A,도구 / 밀도 = 100
	기본 주파수 = 6M Hz	기본 주파수 = 6M Hz
XTAL2 변환 지원	예	예
컴퓨터 통신	RS232 표준, 이더넷 TCP/IP 옵션	RS232 표준, 이더넷 TCP/IP 옵션
대형 RS232 전송률	115.2킬로포터	115.2킬로포터
계전기 수	12 기준, 사례 없음	12 기준, 사례 가능
프로그래밍 가능한 릴레이 기능 수	1	1
각 릴레이 기능	1	1
계전기 전압 정격	30V 직류 또는 30V AC RMS 또는 30V 직류	30V 직류 또는 30V AC RMS 또는 30V 직류
	42V 피크, 2.5안	42V 피크, 2.5안
입력 수	8TTL,24볼트 직류가 크다	8TTL,24볼트 직류가 크다
프로그래밍 가능한 입력 기능 수	1, 사례 없음	1, 사례
입력기 입력 수	1	1
수동 전원 / 핸드헬드 컨트롤러	예	예
송풍기	없음	없음
테스트 모드	예	예
방광기 지연	예	예
보조 도구	예	예
대허용 위상 변환 주파수	1.0 M Hz	1.0 M Hz
섀시 크기	1/2 랙, 2U 높이	1/2 랙, 2U 높이
속도 및 필름 두께 디스플레이 해상도	0.0~99.9A/s의 0.1A초;1A/초, 시작 100 ~ 999A/s	0.0~99.9A/s의 0.1A초;1A/초, 시작 100 ~ 999A/s
	디스플레이 필름 두께 분별 = 1A	디스플레이 필름 두께 분별 = 1A
가져오기를 통해 도금 레이어 선택	예	아니요
사용자 안내 언어	영어, 중국어	영어, 중국어
제어 루프	PID는	PID는
데이터 로그인	예	예
품질 및 안정성 기능	예	예
샘플 및 유지	예	예
도가니 선택	예	예
도가니 피드백 입력	예	예
선택 제어 전압 극성	예, + / - 2.5, 5, 10V	예, + / - 2.5, 5, 10V
	15-비트 해상도	15-비트 해상도
프로그램 잠금 코드	예	예
사용자 레이블 프로세스 / 도금	아니요	예
XTC/2 RS232 통신 호환성	지원 (제한적)	지원 (제한적)

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