첫 국산 상업용 고해상도 휘광 방전 질량 분광기가 성공적으로 인도되었다

최근, 서안교통대학 전기공정학원 질량분석기팀이 주도하여 연구개발한"14.5"국가중점연구개발계획"기초과학연구조건과 중대과학기기연구개발전문"성과인 고해상도 휘광방전질량분석기 (모델명: Sparkle) 가 사용자교부를 완성한것은 우리 나라 고급과학기기의 국산화진척이 관건적인 돌파를 가져왔음을 표징한다.

휘광 방전 질량 분광기는 고체 재료를 탐지하는'슈퍼 현미경'이다.칩 제조 등 첨단 산업에서 기체 재료에 흔적의 불순물이 섞여도 웨이퍼 결함을 일으켜 칩 전체가 무력화될 수 있다.휘광 방전 질량 분광기는 낮은 ppt (조 억 분의 1) 급의 초고흔적 검측 제한을 갖추고 있으며, 초고순도 재료 불순물의 정확한 정량을 실현하거나 부족할 수 없는 고급 정밀 기기이다.

과거에는 휘광 방전 질량 분광기가 수입에 전적으로 의존하여 구매와 수리 비용이 매우 비쌌다.이번 상업화 착지는 코에테스트 등 국내 검측기구와 관련 기업 설비가 남에게 얽매이는 관건적인 문제점을 직접 해결하고 국내 재료 검측기구의 설비 구매와 운송 원가를 대폭 낮추었으며 고순도 재료, 집적회로 재료 등 관건 제품의 품질 검측 효율을 제고하여 기업이 기술 병목 현상을 돌파하도록 조력하였다.자주적으로 통제할수 있는 검측장비를 통해 우리 나라의 전략재료분야에서의 공급사슬안전과 데터안전을 보장하고 고급제조, 신에너지, 항공우주 등 산업에 튼튼한 기술버팀목을 제공해주었다.

이번에 인도된 상용 기종은 전체 기기의 디버깅을 거쳐 그 풍도, 감도 등 10여 가지 핵심 핵심 핵심 지표가 한꺼번에 검수를 통과했다.설비의 현장 운행이 안정적이고, 데이터가 빨리 나오며, 검측 정밀도가 완전히 표준에 도달하고, 사용 피드백이 우수하여 국산 휘광 방전 질량 분광기의 신뢰성과 환경 적응성을 충분히 검증하였다.

Sparkle형 휘광방전질량분광기는 서안교통대학이 주도하여 난관을 돌파하고 서북핵기술연구원, 곤원계기 (천진) 유한회사, 북방공업대학, 중국과학원 상해규산염소, 강연나크검측기술주식유한회사, 중국계량과학연구원, 국합통용시험평가인증주식회사 등 단위와 련합하여 계기완제품연구개발, 공정화산업화, 고체표준물질연구제작과 분석방법을 전개하여 개발함으로써 실현되였다.핵심 부품 100% 국산화，핵심 기술 100% 자체 제어 가능，성능 지표가 국제 선진 수준에 도달하다., 우리 나라 집적회로재료령역의 흔적불순물검측능력을 전면적으로 부여하고 산업자주통제가능한 방어선을 튼튼히 구축하여 국외기술봉쇄를 철저히 타파하였다.