ICP-MS ,전체 명칭은 Inductively coupled plasma mass spectrometry로, 전감 결합 플라즈마 질량 스펙트럼을 뜻한다.ICP 횃불, 인터페이스 장치, 질량 분광기로 구성되어 있다.ICP-MS에 사용되는 이온화 소스는 감응 결합 플라즈마 (ICP) 로, 원자 발사 분광기에 사용되는 ICP$n$n과 동일하며, 그 본체는 3단 석영 튜브로 구성된 횃불 튜브로, 횃불 튜브 상단에는 부하 코일이 감겨 있고, 3단 튜브는 안에서 밖으로 각각 가스가 통하며, 보조 가스와 냉각 가스가 통하며, 부하 코일은 고주파 전원으로 결합되어 있다.
중고 ICP-MS 센싱 결합 플라즈마 질량계사용된 이온화 소스는 원자 발사 분광기에 사용되는 ICP와 함께 감지 결합 플라즈마 (ICP) 입니다.
작업 조건
ICP 축소
주로 ICP 전력, 가스 운반, 보조 및 냉각 가스 유량을 포함합니다.샘플 향상량 등 ICP 출력은 일반적으로 1KW 정도, 냉각 가스 유량은 15L/min, 보조 가스 유량과 가스 유량은 약 1L/min으로 가스 유량을 조절하면 측정 감도에 영향을 줄 수 있다.샘플 승급량은 1ml/min입니다.
인터페이스 장치
ICP에서 생성된 이온은 인터페이스 장치를 통해 질량 분광기에 들어간다. 인터페이스 장치의 주요 매개변수는 샘플링 깊이, 즉 샘플링 송곳 구멍과 불꽃의 거리이다. 두 송곳 구멍의 거리와 가운데를 조정해야 한다. 동시에 렌즈 전압을 조정하여 이온이 잘 초점을 맞출 수 있도록 해야 한다.
접는 질량 분광기
주로 스캔의 범위를 설정합니다.공기 중 성분의 간섭을 줄이기 위해서는 일반적으로 N2, O2, Ar 플라즈마를 채취하는 것을 피해야 하며, 정량 분석을 할 때 질량 스펙트럼 스캔은 다른 원소 및 산화물의 간섭이 없는 질량을 골라야 한다.
동시에 적당한 배증기 전압도 있어야 한다.
작업 조건
ICP 축소
주로 ICP 전력, 가스 운반, 보조 및 냉각 가스 유량을 포함합니다.샘플 향상량 등 ICP 출력은 일반적으로 1KW 정도, 냉각 가스 유량은 15L/min, 보조 가스 유량과 가스 유량은 약 1L/min으로 가스 유량을 조절하면 측정 감도에 영향을 줄 수 있다.샘플 승급량은 1ml/min입니다.
접이식 인터페이스 장치
ICP에서 생성된 이온은 인터페이스 장치를 통해 질량 분광기에 들어간다. 인터페이스 장치의 주요 매개변수는 샘플링 깊이, 즉 샘플링 송곳 구멍과 불꽃의 거리이다. 두 송곳 구멍의 거리와 가운데를 조정해야 한다. 동시에 렌즈 전압을 조정하여 이온이 잘 초점을 맞출 수 있도록 해야 한다.
접는 질량 분광기
주로 스캔의 범위를 설정합니다.공기 중 성분의 간섭을 줄이기 위해서는 일반적으로 N2, O2, Ar 플라즈마를 채취하는 것을 피해야 하며, 정량 분석을 할 때 질량 스펙트럼 스캔은 다른 원소 및 산화물의 간섭이 없는 질량을 골라야 한다.
동시에 적당한 배증기 전압도 있어야 한다.
사실, 매번 분석하기 전에, 다원소 표준 용액으로 기기의 전체 성능을 테스트해야 하는데, 만약 기기의 감도가 예상 수준에 도달할 수 있다면, 기기는 더 이상 조정할 필요가 없고, 만약 감도가 낮으면, 가스 적재 유량, 송곳 구멍 위치와 렌즈 전압 등의 매개변수를 조절해야 한다.
마찬가지로, 그 주체는 3층의 석영 튜브로 구성된 횃불 튜브이며, 횃불 튜브의 상단에는 부하 코일이 감겨 있고, 3층 튜브는 안에서 밖으로 각각 가스를 싣고, 보조 가스와 냉각 가스를 통하며, 부하 코일은 고주파 전원이 결합하여 전력을 공급하며, 코일 평면에 수직인 자기장을 생성한다.만약 고주파 장치를 통해 아르곤 가스를 이온화시킨다면, 아르곤 이온과 전자는 전자장의 작용하에 또 다른 아르곤 원자와 충돌하여 더 많은 이온과 전자를 생성하여 와류를 형성할 것이다.강력한 전류는 고온을 발생시켜 순식간에 아르곤가스로 하여금 온도가 10000k에 달하는 플라스마 횃불을 형성하게 한다.샘플은 가스를 싣고 플라즈마 횃불에 들어가면 증발, 분해, 자극 및 이온화가 발생하며, 보조 가스는 플라즈마를 유지하는 데 사용되며, 필요량은 약 1L/min이다.냉각가스는 절선방향으로 외관을 도입하여 나선형기류를 산생하여 부하코일에 있는 외관의 내벽을 냉각시키고 냉각가스류량은 10-15L/min이다.
중고 ICP-MS 센싱 결합 플라즈마 질량계의 샘플링 방식은 동심형 또는 직각형 에어로졸 분무기를 이용하여 에어로졸을 생성하여 에어로졸 하에서 불꽃에 분사하는 것으로, 샘플의 샘플링 양은 약 1mL/min이며, 웜펌프로 분무기에 들어간다.
부하 코일 위의 약 10mm에서 불꽃의 온도는 약 8000K이며, 이렇게 높은 온도에서 이온화 에너지는 7eV보다 낮은 원소 * 이온화, 이온화 에너지가 10.5eV보다 낮은 원소 이온화는 20% 이상이다.대부분의 중요한 원소의 이온화 에너지는 10.5eV보다 낮기 때문에 매우 높은 민감도를 가지고 있으며, C, O, Cl, Br 등과 같은 소수의 이온화 에너지가 비교적 높은 원소도 감지할 수 있지만, 민감도는 비교적 낮다.
ICP-MS는 ICP 횃불, 인터페이스 장치와 질량 분광기 세 부분으로 구성된다.작업 상태를 좋게 하려면 각 부분의 작업 조건을 설정해야 합니다.