영국 레니사우 RLD10 평면경 간섭기

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개요

영국 레니사우 RLD10 평면 거울 간섭기 $r$nRLD10 평면 거울 간섭기 $r$n 평면 거울 간섭기는 XY 플랫폼 응용 프로그램에 적용됩니다.

제품 정보

RLD10 평면 거울 간섭기

평면 거울 간섭기는 XY 플랫폼 응용프로그램에 적용됩니다.

RLD10 송신 헤드에는 간섭경 그룹, *의 다중 채널 스트라이프 감지 시스템, 레이저 광 브레이크 및 내장된 레이저 정직 보조경이 포함되어 있습니다.0° 및 90° 두 가지 RLD10 송신 헤드 모델을 제공합니다.

특징 및 장점

2축 솔루션- 2축 평면 렌즈 시스템은 XY 플랫폼 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
고해상도- 평면 렌즈 시스템은 각추 반사 렌즈 시스템보다 더 높은 해상도를 요구하는 응용 프로그램에도 사용할 수 있습니다.
민감한 환경- 저전력 모델의 평면 렌즈 간섭기 송신 헤드도 제공합니다.표준 RLD 정격 값(< 2W)보다 낮은 전력 소비량을 요구하는 어플리케이션에 적합합니다.

RLD发射头和镜组

사양

축 스트로크	0 m ~ 1 m
해상도(RLU 구성 사용)	아날로그 직교 = 람다/4(158nm) 숫자 직교 = 10nm RPI20 해상도 = 38.6pm
시스템 비선형 오차(SDE) 인터페이스 없음	50mm/sec 미만 및 신호 강도> 70% <±2.5nm 1 m/sec 및 신호 강도> 50% 시 <±7.5nm
속도	최대 1 m/sec

비진공 응용의 경우 변동 환경 조건에서의 정밀도를 유지하기 위해 어떤 형태의 굴절률 보상이 필요하다.레니사우는 환경 변화에 대한 보상을 위해 RCU10 실시간 방파 보상 시스템을 제공한다.

RPI20 병렬 인터페이스를 선택하고 RLE 시스템에 통합하면 38.6 Pim 해상도를 얻을 수 있습니다.이 인터페이스는 차분 아날로그 1 Vpp 정현/여현 신호를 수신하고 병렬 출력 형식을 제공합니다.첨부 파일에 대한 자세한 내용은 RCU10 보상 시스템 및 레이저 자 인터페이스를 참조하십시오.

영국 레니사우 RLD10 평면경 간섭기

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