영국 레니사우 RLD10 차분 간섭기

협상 가능업데이트01/22

모델

제조업체의 성격: 생산자

제품 카테고리

원산지 Place of Origin

온라인 상담

개요

영국 레니사우 RLD10 차등 간섭기 $r$nRLD10 차등 간섭기 $r$n 차등 간섭기를 사용하여 정의된 참조 객체에 대한 위치 변화를 측정할 수 있습니다.

제품 정보

RLD10 차동 간섭기

차분 간섭기를 사용하면 정의된 참조 객체를 기준으로 위치 변화를 측정할 수 있습니다.

차등 송신 헤드는 *의 광학 설계로 매우 낮은 SDE 성능을 구현합니다.내장된 레이저 정직 보조경은 설정 과정에서 푸시업과 트위스트 각도 조정을 실현하여 정직 과정을 개선할 수 있습니다 (평면 거울에만 적용).

RLD10-X3-DI 송신 헤드는 간단한 3핀 고정 프레임을 통해 작업 캐비티의 외벽에 설치할 수 있습니다.작업 챔버에 들어가지 않고도 광로를 교정할 수 있으며, 내장된 레이저 정직 보조경은 빔의 푸시업과 트위스트를 참고하고 측정하여 독립적으로 조정할 수 있으며, 설치 시스템의 설계는 발사 헤드를 분해하고 발사 헤드의 위치를 조정할 수 있어 시스템 정직에 미치는 영향은 극히 적다.

특징 및 장점

우수한 측정 성능- ppb 안정 주파수 정밀도, 초저주기 오차, 출력 해상도 38.6pm.
차등 구성- 설치 기둥에 비해 동작 플랫폼의 변위를 측정하여 환경 변동과 관련된 작업공간 측면 벽 이동과 같은 일반적인 패턴 오류를 제거합니다.
빠른 정확도 조절- 4개의 내장형 레이저 수직 보조 거울을 사용하여 진공실 외부에서 간단하게 수직 조정을 수행하여 진공실과 렌즈 세트 설치 공차를 제거합니다.

사양

축 여정	0 m - 1 m
해상도(RLU 구성 사용)	아날로그 직교 = 람다/4(158nm) 숫자 직교 = 10nm RPI20 해상도 = 38.6pm
시스템 비선형 오차(SDE) 인터페이스 없음	50mm/sec 미만 및 신호 강도> 70% <±1nm 1 m/sec 및 신호 강도> 50% 시 <±6nm
속도	최대 1 m/s

일반적으로 레니사우 RLU20을 사용하여 차분 간섭기 발사 헤드를 구성합니다.RLU20 레이저 소스의 높은 안정성은 차분 간섭기 송신 헤드의 높은 성능과 결합하여 진공실과 기타 에어컨이 엄격하게 제어 환경에서의 응용에 이상적인 선택이 될 것입니다.

영국 레니사우 RLD10 차분 간섭기

비슷한 제품 추천