Monarc 음극 형광 시스템

브랜드: GATAN 이름 모델: MonoCL4 차세대 음극 발광 시스템

제조업체: GATAN 회사 딜러: 오포동 유한회사

모델 450

Monarc™—SEM(전자현미경 스캔)에 있는 음극형광(CL) 표징의 능력을 재정의했다.

획기적인 광로 설계를 통해 Monarc는 현저하게 증가한 감도와 스펙트럼 해상도를 가지고 있으며, 이로 인해 특색 있는 파장-각도 분별력을 가져와 더욱 완전한 음극형광(CL) 표징 분석 작업을 할 수 있다.차세대 CL 탐사선인 Monarc는 요구사항이 높은 나노 광자학 (nanophotonics), 광전자학 (optoelectronics) 및 지질 과학 등의 응용 분야에 새로운 견해를 가져왔습니다.

성능 이점:

고품질 데이터의 신속한 액세스:

• 뛰어난 공간 해상도(<10nm=""1=""br="">(0.1nm)로 CL 데이터 수집

• 각도 및 파장 분별력을 모두 갖춘 CL 데이터 수집

• 이전 세대 기술에 비해 최대 30배 빠른 속도로 하이퍼스펙트럼 수집
(hyperspectral) 데이터

간편한 운영:

• 완전 자동 광 경로 정렬 및 레시피 기반 작동으로 최적화된 결과

• 항상 맞춰진 광선은 단기 및 장기 작업에 반복 가능한 결과를 가져옵니다.

• 대용량 시야를 통한 데이터 수집 및 사용자 워크플로우 단순화

다른 신호와의 정확한 연관:

• 여러 신호를 동시에 감지하여 물리적 특성 또는 성분 정보를 CL 데이터와 연관 이미지 생성

• 절충적 타협 불필요 – CL 측정과 함께 SEM의 in-lens 프로브를 최대한 활용

그림 1.편광 필터링된 CL 이미지는 Monarc가 10nm 이상의 CL 데이터를 공간 해상도로 제공할 수 있음을 증명합니다.이미지는 크기가 100nm 정도인 성상 금나노 입자 두 조의 직교선형 편광 발광의 색상이 중첩되어 있다.

주요 기능:

• 각도 분별(angle-resolved CL, ARCL): 광학 회절 ji 한계보다 훨씬 낮은 척도에서 빛과 물질의 상호 작용을 이해합니다. 이전 세대 기술에 비해 400x가 더 큰 시야를 가지고 있으며 실제 해상도 손실이 발생하지 않습니다(특허 출원 중)

• 파장-각도 분별(wavelength- and angle-resolved CL, WARCL): 다중 관찰 각도와 파장을 넘나들며 빛과 물질의 상호작용을 시각화한다. 광로 설계 덕분이다. 이전에 할 수 없었거나 매우 실현하기 어려웠던 표징 수단은 Monarc에서 일반적인 작업이 되었다

• 편광 필터링: 광대역이 나노안테나, 광자결정 등 깊이 차파장 구조를 담당하는 발광 편광 성능 파악

응용 분야:

• 광전 소재 개발

• LED 및 레이저 손실 분석

• 디스플레이 및 조명

• 광-물질 상호작용 기초연구

• 나노광자학

• 광자결정

• 지질 과학 - 흔적 원소 분포

• 태양광 재료 표징

• 형광 기술

Monarc에는 다음과 같은 두 가지 모델이 있습니다.

모나크
지질 과학 및 면 분포 이미징 응용에 적합하며, Monarc 모델은 스펙트럼 해상도의 영향을 받지 않는 더 큰 시야를 가지고 있으며, 새로운 파장 필터링 스펙트럼 이미징 능력을 통해 더 높은 공간 샘플링의 하이퍼 스펙트럼 데이터 수집을 제공하며, 이전 세대 기술을 기반으로 한 SEM CL 탐사선을 크게 능가한다.

Monarc Pro는
나노 광자학 및 광전자 재료 응용의 경우 Monarc Pro는 더 높은 감도와 스펙트럼 해상도를 제공하기 때문에 더 적합합니다.또한 고유한 파장-각도 분별 분석 및 편광 필터링 옵션이 있습니다.

그림 2.Monarc를 사용하여 V-pit 결함이 있는 GaN/InGaN 다중 중량 하위 트랩 시료를 채취하여 얻은 복합 파장 여과상을 초스펙트럼 데이터 블록(빨간색 = 504±2nm, 녹색 = 435±2nm, 보라색 = 365±2nm)에서 추출합니다.

그림 3.Monarc 특유의 파장-각도 분별 스펙트럼 모드를 활용하여 박막 InGaN 기반 LED의 발광 성능이 거의 완전한 표징에 가깝다.발사광과 반사광 사이의 상호 간섭은 발광 파장에 따라 변화하는 발사 도안을 형성한다.