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자광클(MOKE) 효과 측정 시스템

협상 가능업데이트01/22
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개요

자광클(MOKE) 효과 측정 시스템은 극방향 클 효과와 수직 클 효과의 클 편전각을 정확하게 측정하는 장비로, 이 장비가 자성 박막의 자기 특성을 연구하는 Z의 이상적인 측정 도구가 되었다.자성 나노기술, 자성 박막 등 자학 분야에 광범위하게 응용된다.

제품 정보

자광클(MOKE) 효과 측정 시스템

한 묶음의 선 편광 조명이 자성 매체에 의해 반사된 후, 반사광의 편광면은 입사광의 편광면에 비해 작은 각도 편전 (켈 회전각) 을 가지는데, 이 현상을 자광 켈 효과라고 부른다.나중에 이 효과는 재료의 자기 특성 연구에 사용되었다.자광 클 효과 측정 시스템은 클의 회전각을 정확하게 측정하는 설비이다.자광 클 효과 측정 시스템은 극방향 클 효과와 수직 클 효과 클 편전각을 정확하게 측정하는 장비이다.이 설비를 자성 박막의 자기 특성을 연구하는 측정 도구로 만들었다.자성 나노기술, 자성 박막 등 자학 분야에 광범위하게 응용된다.

자광클 효과 측정 시스템은 레이저를 광원으로 하고샘플 자광클 효과의 자성 신호는 주로 반점이 비치는 구역에서 나오기 때문에 자광클 효과 측정 시스템은 양호한 국역성을 가지고 있어 마이크로미터 구역 내의 재료 자성 특성에 대한 연구를 실현할 수 있다.또한 편광 레이저 빔을"탐침"으로 사용하기 때문에 샘플에 아무런 손상을 입히지 않고 샘플에 대한 무손실 측정을 실현하는데, 이는 여러 번 측정해야 하는 샘플에 매우 유리하다.

자광클 효과 측정 시스템* 의 민감도를 가지고 있으며, 켈 회전각에 대한 탐지 정밀도는±0.001도.이 점은 이 설비로 하여금 자성 박막의 자기 특성 연구에서 중요한 지위를 가지게 한다.코어 전자기를 이용하여 추가 자기장을 생성하여 최대25KOe는의 추가 자기장.

자광클(MOKE) 효과 측정 시스템

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상해 호량광전설비유한회사의 자광켈측량시스템은 주로 다음과 같은 세가지 류형으로 나눌수 있다.

①극방향 측정 자광클 효과 측정 장비(MOKE 자체 회선 측정 시스템)

대표 제품은 BH-810 시리즈.BH-810CPC25WF12 자기광클효과 (MOKE) 측정장비는 그중의 하나로서 주로 12인치의 수직자기기록매체의 자기특성을 측정한다.각 탐지점의 자체 회선을 정확하게 탐지 분석할 수 있으며, 이 제품은 408nm의 고체 레이저를 응용하여 반점 직경이 1mm이고 자기장을 더하면 25KOe에 달한다.

<strong><strong><strong><strong>磁光克尔(MOKE)效应测量系统</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>磁光克尔(MOKE)效应测量系统</strong></strong></strong></strong>

②방향 측정 자광클 효과 측정 장비(MOKE 자체 회선 측정 시스템)

대표 제품인 BH-618 시리즈.BH-618SK-CA12는 웨이퍼의 자기 특성과 각방향 이성을 자동으로 측정하는 마그네틱 광클 측정 시스템이다.12인치 웨이퍼에 대해 최대 400개의 다른 점의 자체 회선을 측정할 수 있으며 탐지 결과는 영상으로 표시됩니다.

③마이크로 영역 자광클 효과 측정 시스템 (mKerr 시스템) (극방향+세로,MOKE는자체 회선 측정 시스템)

대표 제품은 다음과 같습니다.BH-920은계열.이전 두 제품에 비해BH-920은시리즈는 마이크로미터 영역 내의 자기 특성을 연구할 수 있는 더 작은 레이저 반점을 가지고 있다.BH-P920-NH극방향 마이크로 영역 자광클 효과 측정 시스템으로, 이 장치는 *의 민감도를 가지고 있다0.001°. 및BH-P920-NH비교BH-PI920은동일한 탐지 감도를 가지고 있을 뿐만 아니라 극방향과 수직 측정을 겸비하고 있다.

자광클(MOKE) 효과 측정 시스템

u주요 특징

  • 고성능
  • 저렴한 비용
  • 고감도 (0.001°)
  • 높은 안정성
  • 높은 추가 자기장 (25KOe는)

u주요 애플리케이션

자성 나노기술, 자성 박막, 자성 재료 등 자학 분야

u측정 항목

자체 회선

X축: 추가 자기장 강도 H

Y축: 켈 회전각qk

자체 회선을 통해 얻을 수 있는 매개변수

교착력 Hc

각방향 이성장 Hk

내성 교착력 Hn

포화 자기장 강도 Hs

남은 자화 강도qr

포화 자화 강도qs

u제품 주요 매개 변수:

제품 모델

매개변수

BH-PI920은시리즈

BH-P920-NH

BH-PI920은

BH-810CPC25WF12는

BH-618SK-CA12는

제품 특징

세로/극방향 측정을 위한 미세 영역 측정 시스템

극방향 마이크로 영역 클 측정 장치, 고감도

세로/극방향 측정을 위한 미세 영역 측정 시스템으로 높은 감도

극방향 자광클 효과 측정PMR는박막 웨이퍼의 자기 특성 측정

수직 자광클 측정 시스템, 다중 정체 회선 측정 가능

레이저 광원

반도체 레이저 (405nm)

반도체 레이저(408nm)

반도체 레이저 (405nm)

반점 지름

세로 측정

약 5m미터 [1/e]2]

1-2mm

2-3mm

1mm

1´2mm

극방향 측정

약 2m미터 [1/e]2]

탐지 감도

± 0.005°

±0.001°

±0.001°

± 0.005°

± 0.005°

탐지 범위

± 1°

게다가 자기장 강도

극방향 자기

>±10kOe는

>±10kOe는

극방향 자기장

>±1.5T

>±25kOe는

>±0.2T

면내 자기장

>±10kOe는

면내 자기장

>±1T

샘플 크기 측정 가능

5´5´1TMM~10´10´1TMM

5´5~10´10mm

T:0.5~1mm

12inch 웨이퍼

12inch 웨이퍼