히타치 구차 보정 스캔 투과 전자 현미경 HD-2700

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개요

히타치 구차 보정 스캐닝 투과 전자 현미경 HD-2700은 일반 투과 전경에 비해 HD-2700은 구차 보정 기술을 사용하여 렌즈 구차가 해상도에 미치는 영향을 크게 줄여 초고해상도 관찰을 실현할 수 있다.이와 동시에 HD-2700은 현재 소수의 스캔투사 (STEM) 기능을 위주로 하는 투사렌즈로서 대회집각의 STEM기능배합장에서 전자총과 구차교정기술을 발사하면 HD-2700이 나노급의 전자빔을 획득할수 있다

제품 정보

히타치 구차 보정 스캔 투과 전자 현미경 HD-2700

제품 설명:

HD-2700은 200kV의 필드 발사 구차 보정 스캐닝 렌즈이다.HD-2700은 일반 렌즈에 비해 구차 보정 기술을 적용해 렌즈 구차가 해상도에 미치는 영향을 크게 줄여 초고해상도 관찰을 할 수 있다.이와 동시에 HD-2700은 현재 스캔투사 (STEM) 기능을 위주로 하는 소수의 투사렌즈로서 대회집각의 STEM기능배합장에서 전자총을 발사하고 구차교정기술을 발사하면 HD-2700이 나노급의 전자빔을 획득할수 있어 원자급해상도의 영상관찰과 원소분석이 가능하게 되여 전경의 관찰과 분석능력을 크게 제고시킬수 있다.

히타치 구차 보정 스캐닝 투과 전자 현미경 HD-2700 주요 특징:

고해상도 관찰

금 입자를 이용해 0.144nm 해상도 DF-STEM상(표준형)을 보장한다.

대속류 분석

교정되지 않은 STEM 프로브 전류의 약 10배에 달하는 고속, 고감도 스펙트럼 분석을 할 수 있으며, 더 짧은 시간 내에 원소의 면 분포도를 얻을 수 있어 미량 원소 검출을 가능하게 한다.
단순화된 운영

제공되는 GUI 자동 조절 글로브 보정

전체적인 솔루션

시료 막대는 히타치 FIB와 호환되며 샘플 제작에서 데이터 획득과 zui 최종 분석에 이르는 나노 스케일의 전체 솔루션을 제공합니다.

다양한 평가 및 분석 기능 옵션
SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX, DF/EELS 상을 동시에 획득하고 표시할 수 있다;ELV-2000형 실시간 요소 Mapping 시스템 (DF-STEM 상은 동시에 얻을 수 있음) 을 장착할 수 있습니다.DF-STEM 상과 회절 상을 동시에 관찰할 수 있습니다.3차원 분석(360도 회전) 등을 위해 초미세 헤드 시료봉을 장착할 수 있다.

기술 매개 변수:

프로젝트	주요 매개변수
전자총	냉장 이나 열장 에서 전자총 을 발사 하다
가속전압	200kV, 120kV^*
	0.144nm (표준형, 구차, 냉장 또는 열장 장착)
선 해상도	0.136nm(고해상도, 공차, 냉장 포함)
	0.204nm (표준형, 열장 장착, 볼 차이 없음)
배율 확대	200x - 10,000,000x
이미지 모드	BF-STEM 상도상(TE상), DF-STEM 원자서수 상도(ZC상), 이차전자상(SE상), 전자연사 화양(옵션), 특징 X선상(옵션: EDX), EELS상(옵션: ELV-2000)
전자광학	전자총: 냉장 또는 열장 발사 전자총, 양극 히터 내장
	렌즈 시스템: 2단 스폿 렌즈, 대물 렌즈, 프로젝션 렌즈
	구차 교정기: 6극/전송 이중 (표준 및 고해상도)
	스캔 코일: 2단 전자기 코일
	변위: ± 1μm
견본봉	측면 플러그, X=±1mm, Z=±0.4mm, T=±30°(단일 기울기 시료 막대)

응용 분야:

HD-2700은 필드 발사 구차 보정의 스캐닝 렌즈로서 고해상도의 이미지 관찰 능력뿐만 아니라 마찬가지로 고공간 해상도의 분석 능력을 가지고 있으며 EELS와 EDS와 함께 원자급 요소의 분석을 실현할 수 있다.HD-2700은 대부분의 샘플의 관찰 요구를 충족시킬 수 있는 다양한 이미징 모드를 가지고 있으며, 히타치 *의 SE 이미징 모드는 렌즈가 얻을 수 없는 샘플 표면의 정보를 얻을 수 있으며, 동시에 일반 스캐닝 렌즈보다 더 높은 해상도를 가지고 있어 샘플 표면에 대한 고해상도 관찰을 실현할 수 있다.

적용 기사:

[1] Ciston1, J., Brown2, H. G., D`Alfonso2, A. J., Koirala3, P., Ophus1, C., Lin3, Y., Suzuki4, Y., Inada5, H., Zhu6, Y. & Marks3, L. D.자연 통신, 2005,6, 7358-7365.

[2] Zhu1*, Y., Inada2, H., Nakamura2, K. & Wall1, J. 차차 수정된 전자 현미경으로 2차 전자를 사용하여 단일 원자를 이미지하는 것.자연 물자, 2009,8, 808-812.

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