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장사시 악록구 록천로 28호 오광과학기술산업단지 C4동 3층
히타치 스캐닝 전자 현미경 SU1510
제품 설명:
정교한 설계를 채택하여 동종 설비보다 해상도와 배치가 같은 상황에서 부피를 20% 줄이고 공간을 절약하며 2차 전자와 배산사 탐지기를 표준으로 장착하여 형상과 안감을 동시에 관찰하기 편리하며 히타치 텅스텐 필라멘트 선글라스에 통용되는 4편압, 4공 광맹, 고해상도 배산사, 긴 안감 등 * 설계를 갖추고 있다.
본체 너비가 55cm에 불과하고 몸집이 작으며 3.0nm 해상도의 고성능 가변 압력 스캐닝 렌즈를 갖추고 있다.
히타치 스캔 전자 현미경 SU1510의 주요 특징:
1. 계기 주체가 과거보다 20% 줄어들어 설치 장소를 더욱 자유롭게 선택할 수 있다.
2. 저진공 기능을 표준으로 장착하여 무전도에 대해 무분사 관찰을 진행할 수 있다.고저 진공 변환 원터치 완료.
3. 시료대는 zui 대직경 153mm, 높이 60mm(WD=15mm)의 시료를 싣고 EDX 분석을 할 수 있다.
4, 강력한 마우스 제어 기능으로 선글라스의 모든 조작을 실현할 수 있다.
5, 분자 펌프 진공 시스템, 깨끗하고 오염되지 않습니다.
기술 매개 변수:
2차 전자 해상도 |
3.0nm(고진공, 30kV) |
백산란 전자 해상도 |
4.0nm(저진공: 60Pa, 30kV) |
배율 |
5 ~ 300000배 |
가속전압 |
0.3 ~ 30 kV |
견본대 |
X 0~80mm Y 0~40mm Z 5~50mm T - 20 ~ 80mm R 360° |
샘플 플랫폼 제어 |
수동 (옵션: 2축 모터) |
zui 대형 로드 샘플 크기 |
지름: 153mm |
zui 대관찰범위 |
지름: 126mm(XYR 병용) |
zui 큰 샘플 높이 |
60mm (WD=15mm) |
저진공 범위 |
6-270Pa(메뉴에서 설정) |
필라멘트 |
예비 중텅스텐 필라멘트 |
물경광맹 |
4공 가변 광맹 |
총 편압 |
고정 비율 편압, 수동 편압, 자동 4 편압 |
검측기 |
2차 전자 검출기, 고감도 반도체 백산란 전자 검출기 |
EDX 분석 위치 |
WD=15mm, TOA=35° |
진공 시스템 |
분자펌프 1대, 기계펌프 1대 |
안전 조치 |
정전, 누전, 자동 보호 |




응용 분야:
반도체
생물
고분자