항압 진공 펌프

KT-PID1000Z는 진공 항압 제어 시스템으로 4입방-16입방의 시간당 속도를 지원하는 각종 모델의 이중 스핀 기계 펌프를 지원하며, 선형 밸브를 통해 진공 펌프의 공기 흡입 속도를 제어하고, 나아가 챔버 실내 압력에 대한 정밀 측정과 항압 제어를 획득하며, 우리 회사의 파이프 난로, 도금기, 봉인기 등 설비와 결합하여 PVD, CVD 및 PECVD 공정의 정확한 압력 제어를 실현할 수 있다.

확산, 산화, 외연,CVD、플라스마 사출 및 도금 공정, 광섬유 정련, 혼기 배기 시스템 및 기타 분석 기기 중.

기술 매개 변수:

제어 방법: PID 알고리즘 제어

제어 범위: 1000Pa-1Pa(캐비티 크기에 따라 진공 펌프의 공기 흡입 속도)

PID 조절 추출 범위: 0-100%

지원 진공 펌프: 시간당 공기 흡입 속도 4-16세제곱미터

공기 흡입구 진공 플랜지: KF16 KF25 KF40