청결도 무진실

청결도 무진실외적인 공기 조건이 어떻게 변하든 그 실내는 모두 원래 설정한 청결도, 온습도 및 압력 등 성능을 유지하는 특성을 가질 수 있다.

청결도 무진실의 비교적 주요한 역할은 제품 (예를 들어 실리콘칩 등) 이 접촉하는 대기의 청결도와 온도, 습도를 통제하여 제품이 좋은 환경 공간에서 생산, 제조될 수 있도록 하는 데 있다. 이 공간을 우리는 무진실이라고 부른다.관례에 따라 먼지가 없는 정화등급은 주로 립방메터당 공기중의 립자의 직경이 구분기준보다 큰 립자의 수량에 근거하여 규정한다.즉, 먼지가 없다는 것은 100% 먼지가 전혀 없는 것이 아니라 매우 미량의 단위에서 통제되는 것이다.물론 이 기준에서 먼지기준에 부합되는 립자는 우리가 흔히 볼수 있는 먼지에 비해 이미 작고 미미하지만 광학구조의 경우 조금이라도 먼지가 매우 큰 부정적인 영향을 미치기 때문에 광학구조제품의 생산에서 먼지가 없는것은 필연적인 요구이다.

입경 0.5㎛ 보다 큰 초미세먼지 양을 세제곱미터당 3천500개 이하로 관리하면 먼지 없는 기준인 *에 도달한다.칩급 생산가공에 응용되는 먼지없는 표준은 먼지에 대한 요구가 *보다 높으며 이런 높은 표준은 주로 일부 등급이 비교적 높은 칩생산에 응용된다.미세먼지 수는 업계 속칭 1K급인 세제곱미터당 1000개 이내로 엄격히 통제된다.

청결도 무진실의 전체적인 계획 배치:

풍림실, 전달관, 가시유리창

정화 구조 부분, 정화 시스템 부분, 배전 시스템

세척 샘플링 영역, 입자 분석 영역, 파일 보관 영역 등 각 기능 영역의 구분

청결도 무진실ISO14644-2015, GB50073-2001 등의 표준 요구 사항 충족

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