초음파 프로브

초음파 프로브초음파 발사 및 수신 가능.프로브는 구조에 따라 직선 프로브 (세로파), 비스듬한 프로브 (가로파), 표면파 프로브 (표면파), 람보 프로브 (람파), 가변 각 프로브 (세로파, 가로파, 표면파, 람파), 쌍 프로브 (한 프로브 발사, 다른 프로브 수신), 초점 프로브 (음파를 한 인체 침출용 스카우트 또는 납작한 병) 등의 고압 프로브 (침출) 또는 납작한 수압 프로브 (납작한 수압 프로브) 로 나눌 수 있다.

프로브플랫 프로브라고도 하며 종파를 발사하고 받아들일 수 있다.직탐 헤드는 주로 압전 웨이퍼, 댐퍼 블록 (흡수 블록) 및 보호 필름으로 구성됩니다.(1) 압전칩 압전칩의 두께는 초음파 주파수와 반비례한다.예를 들어 지르코늄 티타늄산 납 (PZT-5) 의 주파수 두께 상수는 1890킬로헤르츠/밀리미터이고, 웨이퍼 두께가 1밀리미터일 때 자연 주파수는 1.89메가헤르츠, 두께가 0.7밀리미터일 때 자연 주파수는 약 2.5메가헤르츠이다.전압 웨이퍼의 직경은 확산각과 반비례한다.전압 웨이퍼는 양면에 은층을 붙이고 전기를 전도하는 극판으로 웨이퍼 밑면 접지선, 웨이퍼 위에 도선을 연결하여 회로로 끌어들인다.(2) 보호막 직탐지기는 웨이퍼와 공작물의 직접적인 접촉을 피하기 위해 웨이퍼를 마모시키고 웨이퍼 아래에 보호막을 한 층 접착하며 연성 보호와 경성 보호 두 가지가 있다.연성은 플라스틱 필름(두께 약 0.3㎜)으로 표면이 거친 공작물과 접촉이 좋다.경직성은 스테인리스 스틸 조각이나 세라믹 조각으로 사용할 수 있다.보호막의 두께는 2분의 1파장의 정수배이고 음파 투과율은 zui가 크다.두께가 4분의 1 파장의 홀수 배일 경우 투과율 Zui가 작다.웨이퍼가 보호막과 접착하면 프로브의 공명 주파수가 낮아진다.보호막과 웨이퍼가 접착할 때, 접착층은 가능한 한 얇아야 하며, 공기에 스며들어서는 안 된다.접착제의 처방은 618 에폭시 수지: 디에틸렌 트리아민: 인벤젠 디메틸 에스테르 = 100: 8: 10 접착 후 일정한 압력을 가하여 24시간 방치한 후 60 ℃ ~80 ℃ 온도에서 4시간 동안 건조한다.(3) 댐퍼 블록 댐퍼 블록은 흡수 블록이라고도 하는데 그 작용은 웨이퍼의 기계적 품질 계수를 낮추고 음향 에너지를 흡수하는 것이다.만약 댐퍼 블록이 없다면 전기 진동 펄스가 멈출 때, 압전 웨이퍼는 관성 작용으로 인해 여전히 계속 진동하여 초음파의 펄스 폭을 증가시켜 사각지대를 증대시키고 분별력이 떨어진다.흡수 블록의 음향 임피던스가 웨이퍼의 음향 임피던스와 같을 때, 효과 *, 일반적으로 사용되는 흡수 빠른 처방은 다음과 같다 텅스텐 분말: 에폭시 수지: 디에틸렌 트리아미드 (경화제): 인벤젠 디메틸 디메틸 (가소제) = 35g: 10g: 0.5g: 1g: 웨이퍼와 임피던스를 잘 접착하기 위해 부치기 전에 아세톤으로 웨이퍼와 웨이퍼 표면을 세척하고 60 ℃ ~ 80 ℃ 까지 가열한다.에폭시 수지와 텅스텐 가루는 충분히 고르게 혼합해야 한다.주입 후 프로브를 기울여 댐퍼 블록의 표면을 20 ° 정도 기울이면 음파가 흡수 블록에서 발사되는 것을 제거하고 스크린의 잡파를 줄일 수 있다.

비스듬한 프로브초음파 탐지기비스듬한 프로브는 횡파를 발사하고 수신할 수 있다.프로브는 주로 압전 웨이퍼, 댐퍼 블록 및 쐐기 블록으로 구성됩니다.웨이퍼는 종파를 발생시켜 쐐기를 거쳐 측정된 부품에 비스듬히 입사되여 횡파로 전환된다.웨지는 유기 유리이며 측정 된 가공소재는 강철이며 사선 프로브의 각도 (즉, 입사각) 가 28 ° ~61 ° 사이일 때 강철에서 횡파를 생성 할 수 있습니다.쐐기의 모양은 음파가 쐐기에서 전파될 때 웨이퍼로 돌아가지 못하게 하여 잡음이 생기지 않도록 해야 한다.직선 프로브가 액체에서 공작물을 기울일 때도 횡파가 발생할 수 있다.

표면 프로브표면파를 발사하고 수신할 수 있다.표면파 프로브는 비스듬한 프로브의 한 특례이다.입사각이 어느 각도로 커져 가공소재에서 횡파의 굴절각이 90 ° 가 되면 가공소재에서 표면파가 생성되고 직선 프로브가 액체에서 가공소재를 기울일 때도 표면파가 생성됩니다.

포커스 프로브초음파를 하나의 가는 빔 (선형 또는 점형) 으로 모아 초점에서 음향 에너지를 집중시킬 수 있어 탐상 감도와 해상도를 높일 수 있다.초점 프로브는 주로 액침법 자동화 탐상에 쓰인다.프로브는 종파를 발사하지만 액체에서 공작물에 비스듬히 입사할 때 입사각에 따라 공작물에서 횡파, 표면파 또는 람파가 발생할수 있으며 수요에 따라 결정된다.초음파 초점에는 두 가지 방법이 있다: 하나는 압전 웨이퍼를 오목면으로 만들어 발사하는 음파가 직접 초점을 맞추는 것이고, 다른 하나는 음파 렌즈의 방법으로 음파를 초점을 맞추는 것이다.전자는 소결성형이 비교적 어렵고 곡률반경을 보장하기 어려우므로 현재 후자를 많이 사용한다.

가변 각도 프로브가변 각도 프로브는 입사각을 연속적으로 변경하여 종파, 횡파, 표면파 및 램파를 생성할 수 있습니다.압전 웨이퍼는 반원 쐐기에 고정되어 있고, 반원 쐐기는 빠르고 또 큰 쐐기의 둥근 구멍 안에 놓여 있으며, 빈틈에 기름을 주입하여 도성 결합제를 만든다.반원 쐐기가 회전하면 입사각이 변경됩니다.

램보 프로브램프를 발사하고 수신할 수 있는 것도 프로브의 특례이다.입사각이 일정한 각도에 도달하면 공작물에서 람파가 생기고 직탐지기가 액체에서 공작물을 기울일 때도 람파가 생긴다.

더블 프로브초음파 탐지기 이중 프로브는 조합 프로브라고도 하는데, 두 개의 압전 수정편이 한 프로브 선반 안에 장착되어 있고, 한 개의 수정편이 발사되고, 다른 한 개가 수신된다.이중 프로브는 종파를 발사하고 수신하며, 웨이퍼 아래의 지연 블록은 음파를 일정 시간 지연시킨 후 공작물에 발사하여 근표면의 결함을 탐지하고 해상도를 높일 수 있다.두 개의 웨이퍼는 일경각(일반적으로 약 3°~18°)이 있고 두 개의 웨이퍼는 음장 중합 부분(음영 부분)으로 탐상 민감도가 높은 부위이다.

수침 프로브물속에서 상처를 탐지할수 있는데 그 구조는 직탐두와 비슷하지만 탐두가 비교적 길어 물에 담그고 보호막도 제거할수 있다.

초음파 프로브역할: 첫째, 반환된 음파를 전기 펄스로 변환합니다.둘째, 초음파의 전파 방향과 에너지 집중의 정도를 제어한다. 프로브의 입사각을 변경하거나 초음파의 확산각을 변경할 때 음파의 주요 에너지가 서로 다른 각도에 따라 매체 내부에 들어가거나 음파의 지향성을 바꾸어 해상도를 높일 수 있다. 셋째, 파형의 전환을 실현하고 넷째, 작업 주파수를 제어하며 서로 다른 작업 조건에 적용된다.사용자는 실제 상황에 따라 서로 다른 초음파 탐지기 프로브를 선택하여 초음파 탐지기 프로브가 초음파 탐지기의 품질 제어에 더 잘 봉사할 수 있도록 해야 한다.

각종 규격 초음파 탐지기 프로브 비스듬히 프로브 1

각종 규격 초음파 탐지기 프로브 비스듬히 프로브 2

각종 규격 초음파 탐지기 프로브 직선 프로브

각종 규격 초음파 탐지기 프로브 쌍결정 프로브

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