3 표적 자기 제어 사출 도금기

협상 가능업데이트08/04

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개요

간단한 소개: 제품 소개: CY-600-3HD 3표적 자기 제어 사출 도금기는 우리 회사가 자주적으로 연구 개발한 성가가 비교적 높은 자기 제어 사출 도금기로서 단층 또는 다층 철전 박막, 전도 박막, 합금 박막, 반도체 박막, 도자기 박막, 매체 박막, 광학 박막, 산화물 박막, 경질 박막, 폴리테트라플루오로에틸렌 박막 등을 제조하는 데 사용할 수 있다.이 3표적 자기제어 사출도금기는 동종 설비에 비해 응용이 광범위할 뿐만 아니라 부피가 조작에 소변을 보는 장점이 있어 실험실에서 재료 박막을 제조하는 이상적인 설비이며, 특히 실험실에서 고체 전해질 및 OLED 등을 연구하는 데 적합하다.

제품 정보

자세한 내용:

제품 소개:CY-600-3HD 3표적 자기제어 사출기는 우리 회사가 자주적으로 연구개발한 성가가 비교적 높은 자기제어 사출 도금기로서 단층 또는 다층 철전박막, 전도박막, 합금박막, 반도체박막, 도자기박막, 매체박막, 광학박막, 산화물박막, 경질박막, 폴리테트라불화에틸렌박막 등을 제조하는데 사용할수 있다.동종 설비에 비해 광범위하게 응용될 뿐만 아니라 부피가 조작에 편리하다는 장점을 가지고 있으며, 실험실에서 재료 박막을 제조하는 이상적인 설비이며, 특히 실험실에서 고체 전해질 및 OLED 등을 연구하는 데 적합하다.

제품 모델	3 표적 자기 제어 사출기（CY-600-3HD）
설치 기준	본 설비는 해발 1000m 이하, 온도 25 ℃ ± 15 ℃, 습도 55% Rh ± 10% Rh에서 사용해야 한다. 1. 물: 설비에 자체순환냉각수기(정제수 또는 이온제거수 주입) 2. 전기: AC220V 50Hz, 반드시 좋은 접지가 있어야 한다 3. 가스: 설비 챔버 실내에 아르곤 가스 (순도 99.99% 이상) 를 충전해야 하며, 자체 아르곤 가스 실린더 (자체 Ø6mm 듀얼 카드 커버 커넥터 포함) 및 감압 밸브가 있어야 한다 4. 작업대: 사이즈 1500mm×600mm×700mm, 하중 200kg 이상 5. 통풍 장치: 필요
주요 특징	1. 3개의 표적총을 배치하고, 1개의 부대무선주파수전원은 비전도표적재의 사출도금에 사용되며, 2개의 부대직류전원은 전도성재료의 사출도금에 사용된다 (표적총은 고객의 수요에 따라 임의로 교환할 수 있다). 2. 여러 종류의 박막을 제조할 수 있으며 광범위하게 응용된다. 3. 부피가 작고 조작이 간편하다. 4. 전체 기계 모듈화 설계, 진공 챔버, 진공 펌프 세트, 제어 전원 분리형 설계, 사용자의 실제 수요에 따라 구매 수요를 조정할 수 있다. 5. 사용자의 실제 수요에 따라 전원을 선택할 수 있으며, 하나의 전원으로 여러 개의 표적총을 제어할 수 있고, 여러 개의 전원으로 단일 표적총을 제어할 수 있다.
기술 매개변수	1. 전원 전압: 220V 50Hz 2. 총 출력: 2.5KW 3、극한 진공도:<E-6mbar(당사 설비에 맞추어 사용하면 도달 가능E-5mbar） 4, 작동 온도: RT-500 ℃, 정밀도 ± 1 ℃ (실제 필요에 따라 온도를 올릴 수 있음) 5. 표적총 수량: 3개 6, 표적총 냉각 방식: 물 냉각 7. 표적재 사이즈: 2", 두께 0.1mm-5mm (표적재 재질에 따라 두께가 다르다) 8. DC 사출 전력: 500W(옵션) 9. 무선 주파수 사출 전력: 300W/500W(옵션) 10. 샘플링대: 140mm 11, 샘플링 테이블 회전 속도: 1rpm-20rpm 내 조정 가능 12, 보호 가스: Ar, N2 등 불활성 가스 13, 흡기 가스로: 질량 유량계는 2방향 흡기를 제어하며, 각 유량은 100SCCM이다
제품 사양	본체 크기: 500mm×560mm×660mm, 전체 크기: 1300mm×660mm×1200mm; 무게: 160kg
표준 부품	1	DC 전원 제어 시스템	2세트
	2	무선 주파수 전원 제어 시스템	1세트
	3	필름 두께 측정기 시스템	1세트
	4	600분자 펌프그룹	1대
	5	공업급 수냉기계	1대
	6	냉각 호스 (6mm)	4개
옵션 액세서리	금 · 인듐 · 은 · 백금 등 각종 표적재

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