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emkete@emcrafts.com.cn
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북경시 해전구 안녕장서로 9호원 25호동
백금리다 (북경) 과학기술유한회사
emkete@emcrafts.com.cn
북경시 해전구 안녕장서로 9호원 25호동
기본 매개변수
유형/사용: 진공 (SEM, 부분 진공, 불활성 가스), 공기 중
기본 들여쓰기 모드: 진정한 변위
테스트 프로토콜 적응성: 맞춤형 소프트웨어
업그레이드 옵션 / 확장 기능: 고온 및 초고응변율 모듈
들여쓰기
들여쓰기 팁: Berkovich, Cube Corner, Flattop, Wedge, Spherical 등
들여쓰기 범위: 40 μm
변위 노이즈 하단: <1nm
부하 범위: 500mN 표준 / 1.5N 옵션
로딩 베이스 노이즈: 4μN/12μN RMS 노이즈
구강 모드: 200Hz의 변위 모드
스크래치 소개: 운영자는 모든 프로파일 (변위 또는 하중) 을 자유롭게 정의할 수 있습니다.
샘플 상단 정렬
헤드팁 원격 방법: 22mm 범위, 1nm 해상도(닫힌 고리)
자동 접근 모드: 몇 mm 이상
샘플링 위치 범위: 26x26mm, 1nm 해상도(닫힌 루프)
스크래치 면적 (권장) 10x10mm
실온에서의 표류: 5nm/min (진공 중)
초고응변율 모듈
응변율: 최대 3000s -1
구강 모드: 개폐 고리 10kHz
시작 범위: 1μm
측정 범위: 1N
로딩 베이스 노이즈: 30μN RMS 노이즈
고온 모듈
높은 온도 범위: 표준 600 ℃ / 옵션 800 ℃
600℃에서의 표류: 10nm/min
600℃에서의 안정 시간: <3시간
압두첨재료: 금강석, 입방질화붕소, 사파이어, 탄화텅스텐 등
온도 안정성: 10mK 해상도