저온 냉각 순환기 -25 ℃ ~ 30 ℃

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개요

저온 냉각 순환기 -25 ℃ ~ 30 ℃ 사용 범위: $r$n 반도체 제조 장치 발열부에 대한 냉각: $r$n 단일 웨이퍼 세정 전재, 인쇄기, 자동 클립 설치 장치, 도료 장치, 이온 도금 장치, 식각 장치, 단일 웨이퍼 처리 장치, 절편 장치, 패키징, 현상제의 온도 관리, 노광 장치, 생자기 부분의 가열 장치 등.

제품 정보

저온 냉각 순환기 -25 ℃ ~ 30 ℃

사용 범위:
반도체 제조장치 발열부 냉각:
단결정 세정 전재, 인쇄기, 자동 클립 설치 장치, 스프레이 장치, 이온 도금 장치, 식각 장치, 단결정 처리 장치, 절편기, 포장기, 현상제의 온도 관리, 노광 장치, 생자기 부분의 가열 장치 등.
레이저 장치의 발열 부분에 대한 냉각:
레이저 가공, 용접기의 발열 부분, 레이저 표지 장치, 발생 장치, 이산화탄소 레이저 가공기 등.
기타 산업용 기기 발열 부분의 냉각:
플라즈마 용접, 자동 포장기, 금형 냉각, 세정 기계, 도금 슬롯, 정밀 연마기, 사출 성형기, 수지 성형기의 성형 부분 등.
저온 냉각 순환기 -25 ℃ ~ 30 ℃발열 부분의 냉각:
전자현미경의 광원, ICP 발광 분광 분석 장치의 광원 부분, 분광 광도계의 발열 부분, X선 해석 장치의 열원, 자동 펄스 변폭기의 발열 부분 원자 흡광 광도계의 광원 등이다.
제품 개요
?? 수자원을 절약하고 에틸렌글리콜 혼합액을 사용하여 순환 냉각을 할 수 있어 자원을 절약할 수 있다.엄밀한 순환관로 설계로 순환수 오염을 방지하고 순환수 사용시간을 연장한다;
?? 고성능 순환 펌프로 하루 24시간 가동 가능
?? PID 온도 제어 기술, PT100 센서 항공 플러그인이 내장되어 온도 제어의 정확성을 보장합니다.
?? 성숙한 무불소 냉각 기술;
?? 자가 진단 기능을 제공합니다.냉동기 과부하 보호;고압 압력 스위치, 과부하 계전기, 열 보호 장치 등 다양한 안전 보장 기능;

기술 지표:

모델		LX-250는	LX-0400는	LX-0700은	LX-1000은	LX-1450은	LX-2000은
온도 조절 범위		-15℃～30℃	-25℃～30℃
압축기		엔브라코		미국 곡륜
증발기		판식 냉열 교환기
냉매		R-404A는
컨트롤러		LCD 설정 온도 및 측정 온도, 터치 키 입력
센서		PT100은
냉방량	0	1.5kW의	2.4kW의	4kW의	7.5kW의	10kW의	15.5kW의
	-10	1kW의	1.5kW의	2.7kW의	6.3kW의	8kW의	12kW의
	-20	0.55kW의	0.8kW의	1.5kW의	3.5kW의	5kW의	7.3kW의
순환 펌프 흐름 양, 압력		최대 20L/분 0.7BAR	최대 20L/분 0.7BAR	최대 35L/분 1바	최대 50L/분 1BAR	최대 75L/분 1BAR	최대 75L/분 1BAR
저장액 용적		15L	25L	30L	35L	45L	60L
보안		자가 진단 기능 제공냉동기 과부하 보호;고압 압력 스위치, 과부하 계전기, 열 보호 장치 등 다양한 안전 보장 기능.
인터페이스 크기		DN-15는	DN20는	DN20는	DN20는	DN20는	DN-20는
외형 치수		4006001050	4006001150	5006801350	5506801450	6206801550	7507501750
무게		115kg	145kg의	180kg의	225kg의	290kg	340kg
전원		AC220V 50HZ의 1.5kW (최대)	AC220V 50HZ의 2.2kW (최대)	AC220V50HZ의 3.5kW (최대)	AC380V 50HZ의 4kW (최대)	AC380V 50HZ의 5kW (최대)	AC380V50HZ 6.5kW (최대)
케이스 소재		냉간 압연판 분사 플라스틱
컨트롤러 옵션		5.7인치 10인치 컬러 터치스크린 온도 기록 인쇄
전원 옵션		220V 60HZ 3상, 440V~480V 60HZ 3상
스프레이 플라스틱 옵션		테프론
폭발 방지 옵션		ExdIIBT4 또는 ExdIICT4

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