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(1) 최소 운동량 50nm (2) 무철심 직선전기, 반응 민감, 만부하 최대 가속도 2000mm/s2 (3) 고정밀 환경을 위한 초음소거 |
| 제품 모델 | FMS115Z-150H |
| 스트로크 (mm) | 150 |
| 부하(Kg) | 10 |
| 해상도(um) | 0.01 |
| 최소 동작 증가(um)【1】 | 0.05 |
| 단방향 반복 위치 정밀도 / 보장 * (um) | ±0.1 |
| 단방향 반복 위치 정밀도 / 일반 * (um) | |
| 양방향 반복 위치 정밀도 / 보장 * (um) | ±0.3 |
| 양방향 반복 위치 정밀도 / 일반 * (um) | |
| 정확도 / 보장 * (um) | ±1 |
| 정확도【2】/ 일반 * (um) | |
| 최대 속도(mm/s) | 50 |
| 직선도(um) | 2 |
| 플랫 (um) | 2 |
| Yaw - 오프셋 (")【3】 | 5 |
| Pitch 엎드리기(") | 5 |
| 지속 추력 (N) | 20 |
| 피크 추력 (N) | 72 |
| 폼 팩터 (mm) | 320X115X50 |
| 테이블 크기 (mm) | 115X115 |
| [1]: 최소 운동 증가량은 해상도와 같지 않다. 최소 운동 증가량은 운동 시스템이 연속적이고 안정적인 상황에서 이동할 수 있는 최소 양을 말한다.일반적으로 시스템 해상도는 최소 동작 증가분보다 훨씬 작습니다.전동 구조와 인코더가 시스템 오차에 미치는 영향을 고려할 때, 직선 모터 변위대는 스텝 모터 변위대에 비해 최소 운동 증가량이 해상도에 더 가깝다. [2]: 정확도와 중복 위치 정밀도는 헷갈리기 쉬운 개념이다.일반적으로 표적 묘사를 채택하면 이 두 개념을 쉽게 구분할 수 있다. [3]: 직선도, 평행도, Pitch, Yaw 등의 매개변수가 모두 높은 수준의 요구에 도달해야만 모션 시스템의 정확도, 반복 위치 정밀도가 높은 정밀도 수준에 도달할 수 있습니다.즉, 고객은 일반적으로 정확도와 반복 위치 정밀도가 애플리케이션 요구를 충족하는지 여부만 고려하면 만족스러운 변위 플랫폼을 선택할 수 있다.고객이 플랫폼 동작에 대한 요구가 더 높을 때 비축방향 매개변수는 고려해야 합니다. *: 일반 값과 보증 값의 차이점은 기술 가이드 참조 |
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