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Shanghai Guier Machinery Equipment Co., Ltd
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Shanghai Guier Machinery Equipment Co., Ltd

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CVD 시스템 파이프 스토브

협상 가능업데이트01/23
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개요

GR.TF 시리즈 진공관식로 상세 소개 GR.TF 시리즈 진공관식로는 합리적인 성능 설계를 가지고 있으며 여러 가지 기능을 한데 모아 안전성, 신뢰성, 실용성이 모두 이상적인 효과를 달성한다

제품 정보

GR.TF시리즈 진공관식 난로 상세 소개


GR.TF 시리즈 진공관식 난로, 합리적인 성능 설계를 가지고 있으며, 여러 가지 기능을 한 몸에 지니고 있으며, 안전성, 신뢰성, 실용성이 모두 이상적인 효과에 도달한다.

1. 온도는 1100℃-1800℃이고 가열구역은 300mm이다.

2. 로체는 이중로각구조를 채용하고 이중로각사이에는 풍기가 설치되여있어 재빨리 온도를 높이고 낮출수 있으며 로각표면의 온도가 낮다.

3. 난로관은 고순도 석영관 또는 강옥관을 사용하고 량끝은 SUS304 고진공 플랜지로 밀봉한다.

4. 용광로 재료는 양질의 수입 산화 알루미늄 다결정 섬유 진공 흡착으로 만들어져 전통적인 경질 용광로 재료 전기난로에 비해 에너지 절약성이 뚜렷하게 향상되고 비교적 강한 급랭급열성을 가지고 있다. 1100 ℃ 의 전기난로 용광로는 상하 두 부분으로 구성되어 있다. 그 중 상부 용광로는 전체적으로 110 ℃ 를 뒤로 뒤집을 수 있다. 1100 ℃ 이상의 전기난로 용광로 용광로는 일체형으로 되어 실험 재료와 파이프를 쉽게 교체할 수 있다.가열 부품은 스웨덴 콘텔 저항사, 실리콘 탄소봉, 실리콘 몰리브덴봉을 사용한다.

5. 전기난로 온도 제어 시스템은 인공지능 조절 기술을 채용하고, 계기 제어 정밀도는 ± 1 ℃ 이며, PID 조절, 모호 제어, 자체 정정 능력을 갖추고 있으며, 각종 온도 상승 프로그램을 편성할 수 있으며, 초고온 경보 기능을 가지고 있으며, 열전지 파손 단전 기능을 가지고 있으며, 내장 참수 암호 제어 기능을 가지고 있다.

6, 온도 상승 속도 ≤ 30 ℃/min (온도 상승 속도 ≤ 10 ℃/min 권장), 30단 자동 온도 상승 프로그램을 작성할 수 있으며, 실리콘 제어를 제어할 수 있으며, 디지털 LED 전압계, 전류계를 갖추고 있다.

7. RS-485 통신 인터페이스, 데이터 관리 소프트웨어를 옵션으로 장착할 수 있으며, 종이 없이 역사 데이터와 온도 상승 곡선을 기록하고, 온도 이탈 오차를 교정하는 기능을 가지고 있으며, 여러 대의 설비와 원격 문제 진단 분석을 관리할 수 있다.

8. 다양한 안전 보호 설계, 안전 성능이 좋고 사용 수명이 길다.

9. 전기난로는 진공을 뽑고 분위기를 통하게 할 수 있으며 진공도는 10pa (기계펌프) 에 달할 수 있으며 더 높은 진공도가 필요하다면 분자펌프를 선택하여 6.67x10-3pa에 달할 수 있다.


표준 구성:

1304 스테인리스 스틸 플랜지 1세트

2, 씰링 4 마리

3, 난로 마개 2 마리

4, 난로 1 손잡이

5. 설명서, 보증 카드, 합격증 1세트

6, 석영관 또는 강옥관 1개


고진공 펌프 그룹 (분자 펌프 그룹)


GR-620/GR-500F형 시리즈 복합 분자펌프 세트는 F160/620 시리즈 각 성능 복합 분자펌프 또는 FF-160/500F 시리즈 복합 분자펌프, 전급 펌프, 차단 방기 밸브, 전급 파이프라인, 단수 보호기, 분자펌프 전원, 고진공 검측 시스템 (복합 진공계), 제어 전원 등을 랙에 조립하여 만든 청결 초고진공 획득 설비이다.설치가 편리하고, 조작이 간단하며, 연결이 쉽고, 성능이 믿을 만하며, 표면 분석, 가속기 기술, 반도체 설비, 플라즈마 기술, 전기 진공 부품의 제조 및 진공 기술 각 분야에 널리 사용될 수 있다.

FJ-620 분자 펌프 유닛 기술 성능:

제품 모델

GR-620은

공기 흡입구 플랜지

DN160LF는

DN160CF는

공기 흡입 속도 L/S(공기 대비)

600

압축 비율 N2

H2

>109

6 & 시간;103

작동 압력 권장

<100 파

극한 압력(Pa)

6 & 시간;10-6

6 & 시간;10-7

배기구 플랜지

KF25/KF40의

베어링 사용

정밀기계베어링

입력 전압 주파수(V/Hz)

220&plusmn;20/50

주변 온도 (℃)

0~40

전면 펌프 모델

RVP-6는

정격 작업 회전수(rpm)

42,300

냉각 방식

수냉

냉각수 압력(MPa)

0.1-0.2

냉각수 온도(℃)

<25

설치 방법

임의

무게 (kg)

52

긴 & times;폭 & times;높은

730&시간;520&times;700

무게

117

가스 공급 시스템

질량유량계와 스테인리스강 혼합가스탱크는 모두 하나의 이동궤에 설치되여있으며 이동궤는 1000Lbs의 중량을 감당할수 있으며 각 통로의 가스로의 류량설정과 상태표시는 모두 터치스크린에 집중되여있으며 동시에 실시간으로 기체류량곡선과 수치를 볼수 있다.

&middot;표준 측정: 100sccm, 200sccm, 200sccm, 500sccm

&middot;품질 트래픽 컨트롤러:

(1) 작동 전압: AC 220V/50HZ

(2) 작동 온도: 5-45 ℃

(3) 작업 압력: 3 & times;106 Pa

(4) 출력: 23W

(5) 정밀도: & plusmn;1.5%FS

(6) 선형: & plusmn;(0.5-1.5)%F.S

(7) 반복 정밀도: &plusmn;0.2%F.S

(8) 응답 시간: 공기 특성: 1-4 Sec, 전기 특성: 10 Sec

(9) 작업 압차 범위: 0.1-0.5 MPa

&middot;PLC 터치 스크린:

각 채널의 가스 회로 설정과 보기는 터치스크린에 집중되어 있으며, RS485 통신 인터페이스와 PC 온도 제어 소프트웨어를 선택하여 컴퓨터에 연결하여 원격 제어를 할 수 있다

&middot;기계 압력계: 측정 범위: -0.1-0.15MPa

&middot;핀 밸브: 316 스테인리스 스틸

&middot;파이프 부품: 내부 연결 파이프는 1/4 폴리테트라 플루오로 파이프, 외부 통기 파이프는 1/4 플루오로 파이프

&middot;가스 혼합 탱크: & Phi;80&times;120mm

&middot;마감 밸브: 316 스테인리스 스틸 바늘 밸브 & Phi;1/4〞

&middot;제품 사양: 600 & times;745&times;700mm

GR.TF시리즈 진공관식 난로 모델 및 규격

모델

노관 크기 (mm)

(DxWxH)

전력

(KW)

온도

(℃)

한도 온도

(℃)

가열 소자

전압

(V)

GR.TF60/11

Φ60×1000

4

1100

1000

콘텔 저항사

220

GR.TF80/11

Φ80×1000

4

1100

1000

콘텔 저항사

220

GR.TF100/11

Φ100×1000

4

1100

1000

콘텔 저항사

220

GR.TF150/11는

Φ150×1000

5

1100

1000

콘텔 저항사

220

GR.TF200/11는

Φ200×1000

6

1100

1000

콘텔 저항사

220

GR.TF60/14는

Φ60×1000

6

1400

1300

실리콘 스틱

220

GR.TF80/14는

Φ80×1000

6

1400

1300

실리콘 스틱

220

GR.TF100/14는

Φ100×1000

7

1400

1300

실리콘 스틱

220

GR.TF60/16

Φ60×1000

7

1600

1500

실리콘 몰리브덴봉

220

GR.TF80/16

Φ80×1000

7

1600

1500

실리콘 몰리브덴봉

220

GR.TF100/16

Φ100×1000

7

1600

1500

실리콘 몰리브덴봉

220

GR.TF60/18

Φ60×1000

7

1800

1700

실리콘 몰리브덴봉

220

GR.TF80/18

Φ80×1000

9

1800

1700

실리콘 몰리브덴봉

380

GR.TF100/18

Φ100×1000

9

1800

1700

실리콘 몰리브덴봉

380