Automegasamdri-934, Series C 임계점 건조기

Automegasamdri-934,

시리즈 C

• 제품 특징:

• 새로 배치된 전용"느린 충전"제어는 샘플 챔버에 이상적인 이산화탄소 유체 동력학을 제공하여 대부분의 바삭바삭하기 쉬운 샘플을 보호한다;

• 외부에는 PURGE 후 필터 장치를 배치하여 샘플을 보호하고 쉽게 교체하고 나중에 유지 보수할 수 있습니다.

• 독점 특허를 취득한"Vortex Swirl"비기계 믹서를 사용하여 PURGE가 샘플을 파괴하지 않고 완전하게;

• 고효율 내부 폐쇄 냉각 순환 시스템은 캐비티 온도를 빠르게 냉각하고 조작 시간을 단축할 수 있다;

• SOTER 콘덴서가 내장되어 폐기 에탄올과 배기가스를 분리하고 배기 소음을 제거합니다.

• 독특한 샘플실 블록은 샘플실의 직경을 변경하고 액체 이산화탄소의 소비량과 처리 시간을 줄일 수 있으며 서로 다른 크기의 웨이퍼 처리와 호환됩니다.

• 내부 여과 시스템, 시료실로 흘러드는 액상 이산화탄소를 여과하고, 여과 입자의 최저 크기는 0.08μm에 달한다;

• 한 번의 운행으로 4인치 웨이퍼 5개를 처리할 수 있고, 샘플실 크기를 변경할 수 있으며, 매번 운행할 때마다 각각 3인치, 2인치 웨이퍼 및 10mm 스퀘어 웨이퍼를 처리할 수 있다;

• 테플론 호환 4인치, 3인치, 2인치 웨이퍼 시료대와 10mm 스퀘어 시료대를 각각 1개씩 표준으로 장착한다.

• 수직 샘플실, 내강에 조명이 있고 샘플실 뚜껑에 관찰창이 있습니다.

• 밝은 LCD 터치 컨트롤

• 기본 제공 자동화된 프로그램 실행 및 개인화 프로그램 생성 및 저장

• 모든 내부 표면은 CO2, 아세톤 및 초순수 에탄올에 적용됩니다.

• 설정된 매개변수를 반복하여 결과의 반복성을 보장할 수 있습니다.

• 자동 온도 제어 및 정적 압력 제어 모듈을 통합하여 자동 안전한 작동을 보장합니다.

• 클린룸과 정전기 방지 호환 설계;