3D 표면 프로파일러

3D 표면 프로파일러 Slynx는 산업 및 연구소를 위한 새로운 무접촉 솔루션입니다.3D 표면 프로파일러. 단순하고 다양한 용도로 설계되었습니다.Slynx는 다양한 재료, 구조, 표면 거칠기 및 파도를 측정할 수 있으며 거의 모든 유형의 표면 형태를 포함합니다.그것의 다기능성은 광범위한 형상 측정 응용을 만족시킬 수 있다.Sensofar의 핵심은 3가지 측정 방식을 하나로 융합하여 *의 성능을 확보하는 것입니다.SensoSCAN 소프트웨어 시스템과 함께 사용자는 믿을 수 없는 직관적인 운영 경험을 얻을 수 있습니다.

응용 분야:

• 자동차 산업
• 가전제품
• 에너지 산업
• LCD 디스플레이
• 재료학
• 마이크로 일렉트로닉스
• 마이크로 제조업
• 미체고생물학
• 광학 부품
• 공작기계 가공업
• 반도체 산업
• 시계 제조업

삼합일 측량 기술

총초점

공초점 기술은 각종 샘플 표면의 형상을 측정하는 데 사용할 수 있다.광학 현미경보다 0.10um에 달하는 가로 해상도가 높다. 이를 이용하면 임계 치수 측정이 가능하다.150배, 0.95 수치 공경의 렌즈를 사용할 때 모두 매끄러운 표면에 초점을 맞추어 경사율이 70 ° (거친 표면은 86 °) 에 달한다.공초점 알고리즘은 Z축 측정의 중복성을 나노 범주에 보장한다.

간섭하다

백색광 수직 스캐닝 간섭(VSI)은 형태나 투명 필름 구조와 같은 표면 특성을 측정하는 데 널리 사용되는 강력한 기술이다.매끄러운 표면에서 적당히 거친 표면까지 측정하기에 적합하며 대물렌즈의 NA나 증폭배수 변화에 관계없이 나노급 수직해상도를 제공할 수 있다.

다초점 중첩

다초점면 중첩 기술은 매우 거친 표면의 형상을 측정하는 데 쓰인다.Sensofar의 공초점 및 간섭 기술 융합 응용 방면의 풍부한 경험에 근거하여, 특히 이 기능을 설계하여 저배율 공초점 측정의 수요를 보충하였다.이 기술의 하이라이트는 빠른 속도(mm/s), 스캔 범위가 넓고 지원 기울기 속도(큰 86°)입니다.이 기능은 가공소재 및 몰드 측정에 특히 유용합니다.