3차원 광학 표면 윤곽계

새로운 디자인의3D광학 표면 윤곽계S neox는전통을 뒤엎고 공초점, 간섭과 다초점면 중첩기술을 한몸에 융합시켜 측정머리안에 운동부품이 없다.

측정 기술:

공통 초점

공초점 기술은 각종 샘플 표면의 형상을 측정하는 데 사용할 수 있다.광학 현미경보다 0.10um에 달하는 가로 해상도가 높다. 이를 이용하면 임계 치수 측정이 가능하다.150배, 0.95 수치 공경의 렌즈를 사용할 때 모두 매끄러운 표면에 초점을 맞추어 경사율이 70 ° (거친 표면은 86 °) 에 달한다.공초점 알고리즘은 Z축 측정의 중복성을 나노 범주에 보장한다.

간섭

위상차 간섭(PSI)

위상차 간섭은 매끄러운 표면의 고도 형태를 측정하기 위한 나노미터급 정밀도 기술이다.그 장점은 어떤 증폭 배수도 나노급의 세로 해상도를 보장할 수 있다는 것이다.2.5배의 렌즈를 사용하면 초고세로 해상도의 대시야 측정을 실현할 수 있다.

광원 간섭(VSI)

백광간섭은 나노급 측정 정밀도로 각종 표면의 고도 형상을 측정하는 기술이다.그 장점은 어떤 증폭 배수도 나노급의 세로 해상도를 보장할 수 있다는 것이다.

다초점 중첩

다초점면 중첩 기술은 매우 거친 표면의 형상을 측정하는 데 쓰인다.Sensofar의 공초점 및 간섭 기술 융합 응용 방면의 풍부한 경험에 근거하여, 특히 이 기능을 설계하여 저배율 공초점 측정의 수요를 보충하였다.이 기술의 하이라이트는 빠른 속도(mm/s), 스캔 범위가 넓고 지원 기울기 속도(큰 86°)입니다.이 기능은 가공소재 및 몰드 측정에 특히 유용합니다.

측정 및 분석 소프트웨어

SensoSCAN은

SensoSCAN은 단순하고 친숙한 운영 소프트웨어입니다.사용자를 3D 세계로 이동시켜 * 사용자 경험을 제공합니다.소프트웨어 인터페이스에서 사용자는 데이터를 표시하고 분석하는 동시에 사용하는 측정 방식을 직관적이고 명확하게 이해할 수 있습니다.

강력한 전문 분석 소프트웨어

SensoPRO LT 또는 SensoMAP 소프트웨어를 추가하면 전자동 측정 및 분석이 쉽게 가능합니다.

적용:

3D광학 표면 윤곽계S neox는반도체, 바이오의약품 및 바이오기술 산업에서 핵심적인 역할을 수행하는 다양한 어플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있습니다.