• 반도체란?

반도체(semiconductor)는 상온에서 전도성능이 전도체(conductor)와 절연체(insulator) 사이에 있는 재료를 말한다.

반도체는 제조 기술에 따라 집적회로 부품, 분리 부품, 광전 반도체, 논리 IC, 아날로그 IC, 메모리 등 큰 종류로 나눌 수 있다.

• 칩이란 무엇인가?

칩은 마이크로회로(microcircuit), 마이크로칩(microchip), 집적회로(integrated circuit, IC)라고도 한다.집적회로를 내포한 규소조각을 가리키는데 부피가 아주 작아 흔히 컴퓨터나 기타 전자설비의 일부분이다.

• 제조 프로세스

참고: CMP 즉 화학 기계 광택*사진 출처: 네트워크

• 광각과 각식

포토레지스트는 반도체 실리콘 웨이퍼 표면을 덮고 있는 포토레지스트에 그래픽을 옮기는 과정이다.이러한 도형은 반드시 다시 포토레지스트 아래 구성 부품의 각 얇은 층으로 옮겨야 하는데, 이 공정 과정을 우리는 각식이라고 부른다. 즉 이 얇은 층의 숨겨지지 않은 부분을 선택적으로 각식하는 것이다.

• 각식 방법

부식에는 두 가지 기본 방법이 있는데 그것이 바로 습식 화학 부식과 건식 부식이다.

습법 화학 각식의 기리는 주로 세 단계를 포함한다: 반응물은 반응물 표면으로 확산되고, 화학 반응은 표면에서 진행되며, 그 후 확산을 통해 반응 생성물을 표면에서 제거한다.습법화학각식은 다결정규소, 산화물, 질소화물, 금속과 Ⅲ-Ⅴ족 화합물의 지표면각식에 비교적 적합하다.

근적외선 스펙트럼 기술은 다음과 같은 *의 장점으로 인해 반도체 업계에서 광범위하게 응용되고 있다.

• 비침입적 방법
• 방지하는 미세한 오염
• 정확성이 높고 재현성이 뛰어나다
• 시료를 희석할 필요가 없다.
• 정량 분석 가능
• 화학 분석도 할 수 있고 물리 지표도 할 수 있다
• 특수 제작된 광섬유 프로브를 포함하는 온라인 근적외선 분광기는 전체 시스템에 통합될 수 있다

►응용사례1: 근적외선분광기를 사용하여 혼산각식액을 측정한다

각각 1mm와 4mm 스펙트럼의 비색 그릇을 선택하여 측정한 스펙트럼은 다음과 같다. 스펙트럼을 관찰하면 1900nm부터 4mm 스펙트럼의 비색 그릇 스펙트럼 소음이 증가하기 시작하는 것을 발견할 수 있기 때문에 우리는 1mm 스펙트럼 비색 그릇을 선택하여 측정한다.

Vision 소프트웨어를 통해 모델링하고 측정한 혼산 각식액의 각 성분 함량과 실험실의 일반적인 방법 분석의 수치는 아래 표와 같이 근적외선의 예측 결과가 실험실 방법과 거의 일치하고 오차가 매우 적다는 것을 알 수 있다.

► 응용사례 2: 온라인 근적외선 분광기로 세척액 측정

아래 그림은 스위스 만통 온라인 근적외선 분광기를 사용하여 고객의 SC1 세척액 상태를 연속적으로 모니터링하는 것이다.우리는 세척액이 소모됨에 따라NH₄OH의 함량이 점차 낮아져 고객은 감시하는 상황에 따라 세척 절차를 조작할 수 있다.

► 응용사례 3: 온라인 근적외선 분광기를 사용하여 IPA 이소프로필알코올 동적 모니터링

IPA 이소프로필렌글리콜은 세척 제거제로서 세척하는 과정에서 불순물이 이 용매에 섞인다.그것의 근적외선 스펙트럼은 아래 그림과 같이 1900~2000nm 파장 범위 내에서 불순물 EKC-265가 스펙트럼에 미치는 영향을 분명히 볼 수 있다.

우리는 이 주파수 대역을 이용하여 EKC-265의 근적외선 모형을 만들어 모형의 R을 볼 수 있다²9.9989에 달하고 SEC는 0.0629이다.이 모델을 이용하면 이소프로필알코올의 불순물 함량 변화를 감시할 수 있다.

스위스 완통 DS2500근적외선 스펙트럼 액체 분석기 및 부품

스위스 완통 XDS온라인 근적외선 스펙트럼 분석기

• 무손실 스펙트럼 기술
• 파장 범위 800-2200nm로 광범위한 응용을 실현할 수 있다
• 정성 분석, 다중 그룹별 정량 분석 및 추세 분석을 실시간으로 수행
• NEMA4X 보호 등급 준수
• 화학 시약 불필요, 친환경 비용 절감
• 테플론 재질 유통 풀