LAUDA-Noah POU는

열전기의 공정 항온 컨트롤러, 반도체 업계를 위한 맞춤형 제작, 온도 범위는–20에90 °C

LAUDA-Noah POU 열전기의 온도 제어 시스템은 실습적으로 검증된 파르 부착 열전도 원리를 바탕으로 플라즈마 각식 응용에 반복적인 온도 제어를 제공할 수 있다.정전기 카드 디스크(ESC)의 동적 온도 제어를 위해 POU는 모든 유형의 부식 프로세스에 적용될 수 있습니다.

에너지 효율적이고 공간을 절약하는 동시에 온도를 안정적으로 제어할 수 있는 이 스마트 시스템은 wafer to wafer의 균일성을 완벽하게 향상시킬 수 있다.